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半导体晶棒滚磨机滚磨方法
申请人信息
- 申请人:宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
- 申请人地址:750000 宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路28号
- 发明人: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 半导体晶棒滚磨机滚磨方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311443920.6 |
| 申请日 | 2023/10/31 |
| 公告号 | CN117415683A |
| 公开日 | 2024/1/19 |
| IPC主分类号 | B24B5/04 |
| 权利人 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 石鑫; 曹启刚; 芮阳; 徐慶晧; 王黎光; 魏瑶; 史小锋; 王忠保 |
| 地址 | 宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路28号 |
摘要文本
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供一种半导体晶棒滚磨机滚磨方法，涉及晶棒滚磨加工技术领域，通过自动滚磨机对晶棒进行加工，将晶棒放置在转运承载装置上，以使晶棒的中心线与夹头的中心线位于同一水平面，再测量晶棒的长度，晶棒长度测量完成后，夹头根据晶棒的长度夹持晶棒，不用再预先在晶棒两端画圆，夹头能准确进行夹持，不会存在倾斜状态，影响后续参考面的加工；然后再测量晶棒的直径；晶棒直径测量完成后，滚磨机计算磨削量，根据得到的磨削量进行晶棒外圆滚磨加工，得到滚磨晶棒；对滚磨晶棒进行参考面测量、加工，计算参考面宽幅，加工准确。 （来自 专利查询网）
专利主权项内容
1.一种半导体晶棒滚磨机滚磨方法，其特征在于：通过自动滚磨机对晶棒进行加工，所述自动滚磨机包括转运承载装置、夹头，包括以下步骤，S1：将晶棒放置在转运承载装置上，以使晶棒的中心线与夹头的中心线位于同一水平面；S2：测量晶棒的长度；S3：晶棒长度测量完成后，夹头根据晶棒的长度夹持晶棒，测量晶棒的直径；S4：晶棒直径测量完成后，滚磨机计算磨削量，根据得到的磨削量进行晶棒外圆滚磨加工，得到滚磨晶棒；S5：对滚磨晶棒进行参考面测量、加工，计算参考面宽幅。