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一种用于晶闸管管芯生产的表面腐蚀设备
申请人信息
- 申请人:富芯微电子有限公司
- 申请人地址:230000 安徽省合肥市高新区柏堰科技园香蒲路503号
- 发明人: 富芯微电子有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于晶闸管管芯生产的表面腐蚀设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311791426.9 |
| 申请日 | 2023/12/25 |
| 公告号 | CN117457549A |
| 公开日 | 2024/1/26 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 富芯微电子有限公司 |
| 发明人 | 李盛楠; 车振华; 倪侠; 邹有彪; 张荣; 陈令峰 |
| 地址 | 安徽省合肥市高新区柏堰科技园香蒲路503号 |
摘要文本
本发明公开了一种用于晶闸管管芯生产的表面腐蚀设备，包括腐蚀装置和输送架 : 腐蚀装置的底座的顶部上设置有支架，底座内升降设置有腐蚀液框，输送架贯穿支架，输送架上等间距设置有管芯安装盘，管芯安装盘通过夹具安装有多个管芯本体；还包括清洗烘干件，清洗烘干件位于支架的底部，清洗烘干件的清洗管位于支架底部，清洗管和电加热板之间通过连接板连接，连接板与第三气缸的输出端连接，第三气缸安装在支架上，本发明实现对管芯本体进行自动化工作，且循环有序的进行生产，从而大大提高了对管芯本体进行表面腐蚀的整体效率；对腐蚀后的管芯，实现了冲洗与干燥一体化处理。
专利主权项内容
详见官网： 1.一种用于晶闸管管芯生产的表面腐蚀设备，其特征在于，包括腐蚀装置(1)和输送架(2) : 腐蚀装置(1)的底座(10)的顶部上设置有支架(9)，底座(10)内升降设置有腐蚀液框(21)，输送架(2)贯穿支架(9)，输送架(2)上等间距设置有管芯安装盘(3)，管芯安装盘(3)通过夹具(16)安装有多个管芯本体(17)；还包括清洗烘干件(18)，清洗烘干件(18)位于支架(9)的底部，清洗烘干件(18)的清洗管(25)位于支架(9)底部，清洗管(25)和电加热板(29)之间通过连接板(31)连接，连接板(31)与第三气缸(32)的输出端连接，第三气缸(32)安装在支架(9)上。