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一种可调节气体过滤装置及涂胶显影机
申请人信息
- 申请人:合肥开悦半导体科技有限公司
- 申请人地址:230000 安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房研发楼4楼
- 发明人: 合肥开悦半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种可调节气体过滤装置及涂胶显影机 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311548196.3 |
| 申请日 | 2023/11/20 |
| 公告号 | CN117379881A |
| 公开日 | 2024/1/12 |
| IPC主分类号 | B01D46/00 |
| 权利人 | 合肥开悦半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 袁良照; 郁辉 |
| 地址 | 安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房研发楼4楼 |
摘要文本
本发明公开了一种可调节气体过滤装置及涂胶显影机，包括箱体，所述箱体外侧设有安装框架，箱体上端密封设有上盖板，箱体下端与涂胶显影机的旋转组件腔体连接；所述箱体一侧侧壁上开设有进气口，进气口上贯通连接有进气管，进气管内设有调节阀板，且进气管侧壁上设有用于转动调节阀板的调节旋钮；所述箱体下端设有过滤网板，过滤网板上安装有与箱体内壁相匹配的滤芯。本发明设计新颖，结构合理，通过对气流流速和流向的多级调节，使高速气流流速减缓、流向改变，使滤芯上方的气流流动均匀稳定，保证向涂胶显影机送入气流的均匀效果，也能根据制程工艺的改变进行气流的调节，适应性较好。。微信公众号马克 数据网
专利主权项内容
1.一种可调节气体过滤装置及涂胶显影机，其特征在于，包括箱体(1)，箱体(1)上端密封设有上盖板(13)，箱体(1)下端与涂胶显影机的旋转组件腔体连接；所述箱体(1)一侧侧壁上开设有进气口，进气口上连接有进气管(3)，进气管(3)内设有调节阀板(4)，且进气管(3)侧壁上设有用于转动调节阀板(4)的调节旋钮(41)；所述箱体(1)下端设有过滤网板(7)，过滤网板(7)上安装有与箱体(1)内壁相匹配的滤芯(6)，滤芯(6)上方靠近进气口的一侧倾斜设有一扰流板(5)，扰流板(5)上均匀开设有多个通气孔(51)，所述扰流板(5)两端与箱体(1)内壁相贴合。