一种三维体声波谐振器电路电-力-热耦合特性分析方法

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搜索专利查询网 。本发明公开了一种三维体声波谐振器电路电‑力‑热耦合特性分析方法，涉及微电子技术领域，该方法包括：建立三维薄膜体声波谐振器的几何模型，并对几何模型进行参数设置, 设置几何模型的边界条件并进行六面体网格剖分，得到划分的元胞结构；构建电‑力‑热耦合方程，电‑力‑热耦合方程包括压电本构方程、静电场方程、力学运动方程、传热方程，力学运动方程为考虑阻尼项更新原运动方程得到的；利用FDTD算法对电‑力‑热耦合方程进行求解，得到电‑力‑热耦合方程中的各项物理参数。本发明考虑压电材料的机械阻尼，对力学运动方程和压电本构方程进行细化，建立了三维立体网格，结合FDTD算法，实现了三维体声波谐振器电‑力‑热耦合特性的高效分析。