太阳能硅片清洗干燥一体处理设备

专利主权项内容

1.太阳能硅片清洗干燥一体处理设备，其特征在于：包括主罐体，主罐体为扁平圆筒结构，主罐体的内部开设有逆时针依次布设的预喷淋槽、第一超声清洗槽、第二超声清洗槽以及烘干槽；主罐体的内部中心处设有独立的中心管，中心管的内部安装有中转驱动组件，中转驱动组件的顶部垂直安装有四组环形阵列分布的周转夹持组件，每个周转夹持组件的底部均配合夹持有石英舟主体；预喷淋槽的外侧安装有硅片上料组件；硅片上料组件包括纵框体、第二驱动杆、横框体、支撑组件以及硅片存放组件；纵框体的顶部滑动安装有横框体，纵框体的内壁设有驱动横框体纵向平移的第二驱动杆，横框体的内部并列安装有第一螺杆和第二螺杆，支撑组件的底部螺纹安装于第一螺杆上，支撑组件的顶部横向滑动安装有硅片存放组件，硅片存放组件的底部螺纹连接第二螺杆，支撑组件的出料端垂直安装有推送组件；硅片上料组件的上料过程包括如下步骤：S1、硅片存储组件置于支撑组件的上料端，输送带水平输送硅片至支撑组件上；S2、第二螺杆转动以驱动硅片存储组件从上料端平移至出料端；硅片存储组件抵达出料端时，硅片存储组件转动以带动硅片由水平翻转至竖直状态；S3、推送组件将竖直状态的硅片插入至周转夹持组件内的石英舟主体中；S4、第二螺杆反转以驱动硅片存储组件返回至上料端；S5、硅片存储组件抵达上料端并驱动第一螺杆转动，第一螺杆驱动推送组件平移至下一出料位。 来自马-克-数-据