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一种高纯三氯化硼的提纯工艺及提纯系统
申请人信息
- 申请人:滁州昶旭电子材料有限公司
- 申请人地址:239500 安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园远大路09号
- 发明人: 滁州昶旭电子材料有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种高纯三氯化硼的提纯工艺及提纯系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311440639.7 |
| 申请日 | 2023/11/1 |
| 公告号 | CN117486226A |
| 公开日 | 2024/2/2 |
| IPC主分类号 | C01B35/06 |
| 权利人 | 滁州昶旭电子材料有限公司 |
| 发明人 | 许进荣; 吴骏; 杨利霞 |
| 地址 | 安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园远大路09号 |
摘要文本
本发明公开了一种高纯三氯化硼的提纯工艺及提纯系统，称取三氯化硼原料并放入提纯管道内；通过外部加热设备对提纯管道进行加热以对三氯化硼原料进行气化；将气化后三氯化硼的送入至已预热至200℃～230℃的光气分解器中，并以活性碳作为催化剂将三氯化硼中的光气分解为一氧化碳和氯气；将分解后的气体通过冷却器并冷至30℃～50℃；将冷却后的气体通入设置有吸附剂的吸附箱中进行吸附。该发明提供的一种高纯三氯化硼的提纯工艺及提纯系统，通过三氯化硼原料气化分离后送入至已预热的光气分解器中，配合活性碳以将光气分解为一氧化碳和氯气，而后吸附箱内的活性碳吸附剂以对氯气和一些含硅有机物进行吸附以对三氯化硼进行提纯。
专利主权项内容
1.一种高纯三氯化硼的提纯工艺，其特征在于，包括以下步骤：S01、称取三氯化硼原料并放入提纯管道内；S02、通过外部加热设备对提纯管道进行加热以对三氯化硼原料进行气化；S03、将气化后三氯化硼的送入至已预热至200℃～230℃的光气分解器中，并以活性碳作为催化剂将三氯化硼中的光气分解为一氧化碳和氯气；S04、将分解后的气体通过冷却器并冷至30℃～50℃；S05、将冷却后的气体通入设置有吸附剂的吸附箱(1)中进行吸附，并且冷却后的气体沿吸附箱(1)底部进入并从吸附箱(1)顶部流出，吸附剂采用活性碳；S06、将吸附除杂后的三氯化硼气体通入精馏塔进行精馏；S07、将精馏后的三氯化硼进行降温并出料，降温温度范围为25℃～30℃。 关注公众号马克数据网