一种氩气回收纯化装置及工艺
申请人信息
- 申请人:安徽华中半导体材料有限公司
- 申请人地址:239500 安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园远大路18号
- 发明人: 安徽华中半导体材料有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种氩气回收纯化装置及工艺 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311794762.9 |
| 申请日 | 2023/12/25 |
| 公告号 | CN117443192B |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | B01D53/90 |
| 权利人 | 安徽华中半导体材料有限公司 |
| 发明人 | 吴晓涛; 林静; 王虎; 忻俊杰 |
| 地址 | 安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园远大路18号 |
摘要文本
本发明公开了一种氩气回收纯化装置及工艺，包括多个首尾相连的纯化单元，所述纯化单元包括：连接管，其包括第一混合部和第二混合部，所述第一混合部的内部设置有窄部，所述第一混合部由所述窄部至两端管径逐渐增大，所述窄部上设置有供氢气流入的输气管，所述第二混合部上活动设置有横截面为梯形的挡杆，所述挡杆的两个斜面上开设有多个向斜下方喷射氢气的气孔；安装块，其与所述连接管相连并用于吸收气流中的水分子。该发明提供的氩气回收纯化装置及工艺，通过多次向氩气中注入氢气，并利用催化剂将氢气与氩气中的氧气化合成水，并利用分子筛将气体中的水分除去。
专利主权项内容
1.一种氩气回收纯化装置，其特征在于，包括多个首尾相连的纯化单元(1)，所述纯化单元(1)包括：连接管(11)，其包括第一混合部和第二混合部，所述第一混合部的内部设置有窄部(111)，所述第一混合部由所述窄部(111)至两端管径逐渐增大，其中一端设置有氩气进口、另一端与第二混合部连接，所述窄部(111)上设置有供氢气流入的输气管(112)，所述第二混合部上活动设置有横截面为梯形的挡杆(113)，混合气体撞击在挡杆(113)顶部并向两侧形成漩涡，所述挡杆(113)的两个斜面上开设有多个向斜下方喷射氢气的气孔(114)，连接管(11)内部气压和流速进一步增大；安装块(12)，其与所述连接管(11)相连并用于吸收气流中的水分子，输气管(112)与窄部(111)连接处设置有斜向下的挡板(1121)，挡杆(113)顶部覆盖有用于催化氢气和氧气化合的催化剂；同一斜面上的多个所述气孔(114)呈线性阵列分布且孔径由中心至两端逐渐减小，挡杆(113)的内部设置有与多个气孔(114)连接的气道，挡杆(113)的两端均与输入氢气的管道连通；所述第二混合部上对称转动设置有用于引导气流的叶轮(115)，所述叶轮(115)的叶片(116)上覆盖有催化剂；所述第二混合部上活动设置有固定片(117)，所述叶轮(115)转动安装于所述固定片(117)上且两者之间设置有转动阻尼；所述叶片(116)上开设有呈矩形阵列分布的弧形凹槽；所述安装块(12)的内部开设有第一腔室(121)，所述第一腔室(121)的底部对称设置弧形面，两个所述弧形面连接线位于所述连接管(11)正下方；所述第一腔室(121)上活动设置有第一插块(122)，所述第一插块(122)上开设有与所述弧形面齐平的凹槽，所述凹槽的内壁上覆盖有分子筛；所述安装块(12)的内部开设有与下一纯化单元(1)的连接管(11)相连通的第二腔室(124)，所述第一腔室(121)与所述第二腔室(124)之间对称设置有连通两者的通道(125)；所述第二腔室(124)上活动设置有第二插块(126)，所述第二插块(126)上设置有“米”字形凸块，所述凸块的表面覆盖有分子筛。