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一种高纯乙硅烷制备系统
申请人信息
- 申请人:滁州昶旭电子材料有限公司
- 申请人地址:239500 安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园远大路09号
- 发明人: 滁州昶旭电子材料有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种高纯乙硅烷制备系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311659054.4 |
| 申请日 | 2023/12/6 |
| 公告号 | CN117563260A |
| 公开日 | 2024/2/20 |
| IPC主分类号 | B01D3/14 |
| 权利人 | 滁州昶旭电子材料有限公司 |
| 发明人 | 许进荣; 杨利霞 |
| 地址 | 安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园远大路09号 |
摘要文本
数据由马 克 数 据整理 本发明公开了一种高纯乙硅烷制备系统，涉及化学制备装置技术领域，包括反应釜，所述反应釜的出口端设置有分离器，所述分离器的出口端设置有精馏塔，所述精馏塔上固定安装有外框，所述外框的内部固定安装有外环，所述外环上转动安装有多个套环，所述套环上固定安装有两个填料框，所述外框上设置有清洗机构；所述外框上设置有驱动机构，所述驱动机构驱使各层套环错时转动，以使得各层的填料框在同一驱动件进行转动并在转动更换过程中进行清洗。本发明使得填料框内的填料错开清洗，避免大量填料同时转动清洗时，上层填料清洗下来的化学组分影响下层的清洗效果，且更换填料时可直接进行清洗，大大提高清洗效率。
专利主权项内容
1.一种高纯乙硅烷制备系统，包括反应釜，所述反应釜的出口端设置有分离器，所述分离器的出口端设置有精馏塔(1)，其特征在于，所述精馏塔(1)上固定安装有外框(21)，所述外框(21)的内部固定安装有外环(24)，所述外环(24)上转动安装有多个套环(54)，所述套环(54)上固定安装有两个填料框(51)，所述外框(21)上设置有清洗机构(8)；所述外框(21)上设置有驱动机构，所述驱动机构驱使各层套环(54)错时转动，以使得各层的填料框(51)在同一驱动件进行转动并在转动更换过程中进行清洗，且填料框(51)在转动时将对内部填料进行连续性震动，使得清洁液在填料上带动化学组分快速震落。