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一种飞秒脉冲激光分步点烧蚀抛光方法及应用
申请人信息
- 申请人:山东大学; 山东大学深圳研究院
- 申请人地址:250100 山东省济南市历城区山大南路27号
- 发明人: 山东大学; 山东大学深圳研究院
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种飞秒脉冲激光分步点烧蚀抛光方法及应用 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311816724.9 |
| 申请日 | 2023/12/26 |
| 公告号 | CN117655534A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | B23K26/352 |
| 权利人 | 山东大学; 山东大学深圳研究院 |
| 发明人 | 姚鹏; 王庆伟; 何婉盈; 徐相悦; 李丰国; 刘宗磊; 褚东凯; 屈硕硕; 黄传真; 刘含莲; 朱洪涛; 邹斌 |
| 地址 | 山东省济南市历下区经十路17923号; 广东省深圳市南山区高新区南区虚拟大学园A301 |
摘要文本
本发明提供了一种飞秒脉冲激光分步点烧蚀抛光方法及应用，飞秒激光以单点烧蚀的方式抛光材料，其加工的所有的烧蚀孔的直径一致，所有的烧蚀孔沿着X方向和Y方向依次排列，且所有相邻烧蚀孔的距离相等；烧蚀孔为分步去除，相邻两个烧蚀孔具有设定的加工时间间隔，当进行第二步抛光时，前一步的烧蚀孔已经完全冷却。同时，在X方向同一水平位置的多个烧蚀孔组成一行烧蚀区域，整个抛光区域包括多行烧蚀区域，每行烧蚀区域的加工方式均保持一致。本发明的抛光方法可以对单晶硅、金刚石、碳化硅、硬质合金等用于超精密加工、表面质量要求高的材料进行抛光加工。
专利主权项内容
1.一种飞秒脉冲激光分步点烧蚀抛光方法，其特征在于：飞秒激光以单点烧蚀的方式抛光材料，加工的所有的烧蚀孔的直径一致，所有的烧蚀孔沿着X方向和Y方向依次排列，且所有相邻烧蚀孔的距离相等；烧蚀孔为分步加工，相邻两个烧蚀孔具有设定的加工时间间隔，当进行第二步抛光时，前一步的烧蚀孔已经完全冷却。