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调速偏转组件及离子注入机
申请人信息
- 申请人:青岛四方思锐智能技术有限公司
- 申请人地址:266000 山东省青岛市自由贸易试验区青岛片区前湾保税港区北京路45号东办公楼二楼205-5-7室(A)
- 发明人: 青岛四方思锐智能技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 调速偏转组件及离子注入机 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311591554.9 |
| 申请日 | 2023/11/27 |
| 公告号 | CN117438265A |
| 公开日 | 2024/1/23 |
| IPC主分类号 | H01J37/147 |
| 权利人 | 青岛四方思锐智能技术有限公司 |
| 发明人 | 聂翔; 陈祥龙; 范星振; 朱军高 |
| 地址 | 山东省青岛市自由贸易试验区青岛片区前湾保税港区北京路45号东办公楼二楼205-5-7室(A) |
摘要文本
本发明属于半导体技术领域，公开了一种调速偏转组件及离子注入机，调速偏转组件包括调速模块和偏转模块，调速模块包括调速电极和抑制电极，调速电极设置于抑制电极的下游，抑制电极用于抑制前端束流电子、防止前端离子束产生横向束流发散，调速电极包括加速模式、减速模式和漂移模式，调速电极通过调整电位切换工作模式，加速模式时，使离子束加速至预定能量；减速模式时，使离子束减速至预定能量；漂移模式时，抑制束流电子、防止离子束产生横向发散；偏转模块设置在调速模块的下游，用于使经调速模块处理后的离子束偏转预定角度。离子注入机包括上述调速偏转组件。调速模块具有三种工作模式，可根据实际需要灵活选择，偏转模块消除能量污染。
专利主权项内容
1.一种调速偏转组件，其特征在于，包括调速模块和偏转模块，所述调速模块包括调速电极和抑制电极，所述调速电极设置于所述抑制电极的下游，所述抑制电极用于抑制前端束流电子、防止前端离子束产生横向束流发散，所述调速电极包括加速模式、减速模式和漂移模式，所述调速电极通过调整电位切换工作模式，加速模式时，所述调速电极用于使离子束加速至预定能量；减速模式时，所述调速电极用于使离子束减速至预定能量；漂移模式时，所述调速电极用于抑制束流电子、防止离子束产生横向发散；所述偏转模块设置在所述调速模块的下游，用于使经调速模块处理后的离子束偏转预定角度。。该数据由<马克数据网>整理