一种晶圆腐蚀装置
申请人信息
- 申请人:山东联盛电子设备有限公司
- 申请人地址:252800 山东省聊城市高唐县汇鑫街道人和西路中段路北1号
- 发明人: 山东联盛电子设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆腐蚀装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311724028.5 |
| 申请日 | 2023/12/15 |
| 公告号 | CN117438347B |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 山东联盛电子设备有限公司 |
| 发明人 | 马玉水; 王志广; 白如意; 王强; 孔浩; 崔少孟 |
| 地址 | 山东省聊城市高唐县汇鑫街道人和西路中段路北1号 |
摘要文本
本发明涉及半导体器件加工领域，尤其涉及一种晶圆腐蚀装置，包括腐蚀槽，所述腐蚀槽的后端固定安装有水槽，所述腐蚀槽的后上方连接有摆动轴，所述摆动轴的外表面对称固定安装有两个摆动架，两个所述摆动架伸入腐蚀槽的内部，两个所述摆动架的下端部分别连接有两根伸出轴，两根所述伸出轴的相对面设置有夹持翻搅件，所述摆动架的前端中部安装有双头电机，两根所述伸出轴分别与双头电机的两端相连接。本发明提升了晶圆硅片表面腐蚀的速度和均匀性，保证了产品品质，同时方便了腐蚀工序的进行，并方便了使用。
专利主权项内容
马 克 数 据 网 。1.一种晶圆腐蚀装置，包括腐蚀槽(1)，其特征在于：所述腐蚀槽(1)的后端固定安装有水槽(2)，所述腐蚀槽(1)的后上方连接有摆动轴(4)，所述摆动轴(4)的外表面对称固定安装有两个摆动架(7)，两个所述摆动架(7)伸入腐蚀槽(1)的内部，两个所述摆动架(7)的下端部分别连接有两根伸出轴(19)，两根所述伸出轴(19)的相对面设置有夹持翻搅件，所述摆动架(7)的前端中部安装有双头电机(6)，两根所述伸出轴(19)分别与双头电机(6)的两端相连接；所述摆动轴(4)的外表面靠近两侧边缘处均转动安装有承载架(3)，所述承载架(3)的下端部与腐蚀槽(1)的侧面、水槽(2)的侧面相固定，其中一个所述承载架(3)的侧面固定安装有电机架(13)，所述电机架(13)的上端固定安装有伺服电机(5)，所述伺服电机(5)的输出端与摆动轴(4)的端部固定连接；所述双头电机(6)的两端均同轴延伸有传动轴(10)，所述传动轴(10)的端部同轴固定安装有一号链轮(11)，所述伸出轴(19)的端部同轴固定安装有二号链轮(15)，所述二号链轮(15)与一号链轮(11)之间连接有传动链(12)，所述伸出轴(19)的外表面同轴转动安装有承载套(20)，所述承载套(20)的外表面与摆动架(7)固定连接；所述双头电机(6)的下端面固定安装有伸出座(14)，所述伸出座(14)的端部与摆动轴(4)固定连接，所述传动轴(10)的外表面同轴转动安装有限制轴套(9)，所述限制轴套(9)的外表面固定安装有连固块(8)，所述连固块(8)的端部与摆动轴(4)固定连接；所述夹持翻搅件包括分别固定安装在两根伸出轴(19)的相对面的两个承载座(16)，两个所述承载座(16)的两端之间分别固定安装有两根承载杆(29)，两根所述承载杆(29)之间线性阵列安装有多个二号环体(26)，两根所述承载杆(29)之间线性阵列安装有多个一号环体(25)，多个所述二号环体(26)与多个一号环体(25)呈交错设置。