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一种芯片高精固晶机的贴合加热管理方法

申请号: CN202311644652.4
申请人: 东莞触点智能装备有限公司
更新日期: 2026-03-09

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种芯片高精固晶机的贴合加热管理方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202311644652.4
申请日 2023/12/1
公告号 CN117727644A
公开日 2024/3/19
IPC主分类号 H01L21/60
权利人 东莞触点智能装备有限公司
发明人 欧阳小龙; 陈树斌
地址 广东省东莞市松山湖园区阿里山路19号9栋

摘要文本

本发明提供了一种芯片高精固晶机的贴合加热管理方法,包括:对目标芯片当前位置进行检测,判断目标芯片的放置位置是否正确;当确定目标芯片放置位置正确时,对目标芯片及其载体进行预热,并获取目标芯片的材料温度特性,基于材料温度特性对目标芯片进行分区加热;当分区加热达到预设时间时,对目标芯片进行冷却处理,并在冷去处理完成后对目标芯片的焊接结果进行检测,并收集目标芯片的贴合成品对目标芯片的加热过程进行分区精准温控,使目标芯片受热均匀,有效提高芯片加热的均匀性,降低了芯片翘曲和破裂的风险以及芯片贴合过程的损坏率,可以在同一时间内满足目标芯片不同位置的加热缩短目标芯片贴合时间,有效缩短目标芯片的贴合生产效率。

专利主权项内容

1.一种芯片高精固晶机的贴合加热管理方法,其特征在于,包括:步骤1;对目标芯片当前位置进行检测,判断目标芯片的放置位置是否正确;步骤2:当确定目标芯片放置位置正确时,对目标芯片及其载体进行预热,并获取目标芯片的材料温度特性,基于材料温度特性对目标芯片进行分区加热;步骤3:当分区加热达到预设时间时,对目标芯片进行冷却处理,并在冷去处理完成后对目标芯片的焊接结果进行检测,并收集目标芯片的贴合成品。 关注公众号马 克 数 据 网