一种大尺寸硅片的防破碎插片设备

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微信公众号马克 数据网 本发明公开了一种大尺寸硅片的防破碎插片设备，包括操作主体和硅片夹具；硅片夹具包括升降座，升降座顶部固定连接有可用于硅片堆叠放置的升降板，升降板的四周转动设有轴杆，轴杆的顶端连接有贴合杆；轴杆与贴合杆非中心处相连接，贴合杆的底端连接有齿轮，升降板的下表面设有滑轨，滑轨滑动连接有与齿轮啮合的齿条，升降板下表面转动连接有与齿条啮合的驱动齿；本发明采用可旋转式结构的贴合杆，可“等比例放缩”贴合杆所围成的空间面积，面积增大后，便于晶体硅片的快速放置，贴合杆对其不仅起到限位遮挡作用，而且还能起到校正作用，从而有效减少晶体硅片受外力作用或操作不当造成破碎的现象发生。