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氮化铝单晶复合衬底的制备方法
申请人信息
- 申请人:松山湖材料实验室; 广东中民工业技术创新研究院有限公司
- 申请人地址:523000 广东省东莞市大朗镇屏东路333号
- 发明人: 松山湖材料实验室; 广东中民工业技术创新研究院有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 氮化铝单晶复合衬底的制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311691504.8 |
| 申请日 | 2023/12/8 |
| 公告号 | CN117690780A |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | H01L21/02 |
| 权利人 | 松山湖材料实验室; 广东中民工业技术创新研究院有限公司 |
| 发明人 | 王新强; 袁冶; 卢同心; 万文婷; 曹家康; 李泰; 罗巍 |
| 地址 | 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋; 广东省东莞市松山湖园区总部二路2号1栋306室 |
摘要文本
一种氮化铝单晶复合衬底的制备方法，属于复合材料制备领域。氮化铝单晶复合衬底的制备方法包括：在衬底的表面沉积氮化铝多晶膜层，退火使氮化铝多晶膜层重结晶形成氮化铝单晶膜层，保持退火气氛及退火温度，自衬底背离氮化铝单晶膜层的一侧对衬底进行减薄处理，冷却，获得氮化铝单晶复合衬底；该制备方法通过在高温退火重结晶后减薄衬底，以减少在冷却过程中因衬底与氮化铝单晶膜层之间的热失配引入的应力，减少位错生成，提高氮化铝单晶膜层的结晶质量，最终获得具有高结晶质量的氮化铝单晶复合衬底。
专利主权项内容
1.一种氮化铝单晶复合衬底的制备方法，其特征在于，包括：在衬底的表面沉积氮化铝多晶膜层，退火使所述氮化铝多晶膜层重结晶形成氮化铝单晶膜层，保持退火气氛及退火温度，自所述衬底背离所述氮化铝单晶膜层的一侧对所述衬底进行减薄处理，冷却，获得氮化铝单晶复合衬底；其中，所述减薄处理后所述衬底的厚度大于等于100μm，所述减薄处理前后所述衬底的厚度差大于等于100μm。