一种用于生产半导体材料的可视化反应釜

专利主权项内容

1.一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，包括釜体(1)以及设于釜体(1)上的搅拌机构(2)，其特征在于，所述釜体(1)内设有圆周移动机构(3)、连接在圆周移动机构(3)上的升降式图像数据采集机构(4)和外壁清理机构(5)，所述圆周移动机构(3)用于驱使升降式图像数据采集机构(4)和外壁清理机构(5)绕釜体(1)中轴线转动设定角度，所述升降式图像数据采集机构(4)用于采集釜体(1)不同高度处的图像数据，所述外壁清理机构(5)用于清理升降式图像数据采集机构(4)的外壁；所述圆周移动机构(3)包括贯穿连接釜体(1)上的贯通式管道(301)、连接在贯通式管道(301)一端的环形轨道组件以及设于环形轨道组件上的环形移动组件，环形移动组件沿着环形轨道组件做圆周移动，所述升降式图像数据采集机构(4)连接在环形移动组件上；所述升降式图像数据采集机构(4)包括连接在环形移动组件上的底封式透明管道(401)、设于底封式透明管道(401)内的升降组件以及连接在升降组件上的摄像头(406)，升降组件用于驱使摄像头(406)沿着底封式透明管道(401)的长度方向移动；所述外壁清理机构(5)包括连接在环形移动组件上的伸缩式包覆组件、连接在伸缩式包覆组件一端的膨胀式密封组件以及设于环形移动组件和环形轨道组件之间的可调式导液组件，可调式导液组件设有三个输出端，三个输出端分别与伸缩式包覆组件的内部空间、膨胀式密封组件的内部空间以及伸缩式包覆组件和底封式透明管道(401)之间的区域连通；所述环形轨道组件包括C字形上环体(302)以及连接在C字形上环体(302)内壁上的环形齿轮(307)，C字形上环体(302)固定连接在贯通式管道(301)的一端；所述环形移动组件包括与C字形上环体(302)同轴设置的C字形下环体(303)、连接在C字形下环体(303)内壁上的支架(304)、连接在支架(304)上的第一电机(305)以及连接在第一电机(305)输出轴端的行走齿轮(306)，所述C字形下环体(303)与C字形上环体(302)活动连接，行走齿轮(306)与环形齿轮(307)相啮合；所述C字形上环体(302)的内壁上连接有环形供电件(308)，所述支架(304)上连接有控制器和导电件(309)，控制器通过导电件(309)与环形供电件(308)电连接；所述升降组件包括连接在支架(304)上的第二电机(402)和导向杆(404)、连接在第二电机(402)输出轴端的螺杆(403)以及滑动连接在导向杆(404)上的滑块(405)，摄像头(406)连接在滑块(405)上，滑块(405)上设有与螺杆(403)相配合的螺孔，所述C字形下环体(303)上设有与底封式透明管道(401)相配合的穿孔(3030)，所述螺杆(403)和导向杆(404)均穿过穿孔(3030)并延伸至底封式透明管道(401)内部；所述伸缩式包覆组件包括套设在底封式透明管道(401)外部的清理环(501)、连接在清理环(501)和C字形下环体(303)之间的内伸缩波纹管(502)和外伸缩波纹管(503)，所述清理环(501)、内伸缩波纹管(502)、外伸缩波纹管(503)和C字形下环体(303)之间形成一密封储液腔室；所述膨胀式密封组件包括连接在清理环(501)内圆面上的环形囊体(5010)以及设于清理环(501)内部的通液腔道(514)，通液腔道(514)的两端分别与环形囊体(5010)内部空间和可调式导液组件的其中一个输出端连通；所述可调式导液组件包括连接在C字形上环体(302)内壁上的第一导液环(504)、连接在C字形下环体(303)内壁上的第二导液环(505)、连接在第一导液环(504)上的进液管(506)、连接在第二导液环(505)上的第一导液管(507)、第二导液管(509)和第三导液管(511)、设于第一导液管(507)上的第一控制阀(508)、设于第二导液管(509)上的第二控制阀(510)以及设于第三导液管(511)上的第三控制阀(512)，所述第一导液管(507)和第二导液管(509)的输出端均与密封储液腔室连通，所述第一导液环(504)和第二导液环(505)上均设有环形导液槽，第一导液环(504)和第二导液环(505)活动连接，且第一导液环(504)和第二导液环(505)之间设有环形密封件，进液管(506)与第一导液环(504)的环形导液槽连通，第一导液管(507)、第二导液管(509)和第三导液管(511)均与第二导液环(505)的环形导液槽连通，第一控制阀(508)、第二控制阀(510)和第三控制阀(512)均与控制器电连接。