光刻胶生产用高通量反应釜控制方法、装置、设备及介质

专利主权项内容

1.一种光刻胶生产用高通量反应釜控制方法，其特征在于，所述光刻胶生产用高通量反应釜控制方法包括：获取各个进料口的进料消息，根据所述进料消息触发控制阀指令，根据所述控制阀指令生成反应釜启动指令，根据所述反应釜启动指令启动反应釜；实时获取高通量反应釜的反应釜工作数据并分析对应的反应波动，得到所述反应釜工作数据对应的反应波动数据，具体包括：从所述反应釜工作数据获取数据类型，根据所述数据类型提取出温度数据、压力数据、搅拌数据及反应数据；分别对所述温度数据、所述压力数据、所述搅拌数据及所述反应数据进行波动分析，得到预设时间周期内的对应的反应波动数据；将所述反应波动数据与所述高通量反应釜的反应设定阈值进行反应比对，根据反应对比结果推选出最优的反应控制参数并触发反应釜控制指令，具体包括：获取光刻胶生产反应的基本条件，根据所述基本条件初步设定反应阈值，根据所述反应阈值进行实验，得到对应的实验优化反应阈值；根据所述实验优化反应阈值，更改反应阈值的数值观察不同反应阈值下的实验结果，对所述实验结果进行分析；获取各个进料口的原料进料量，根据所述原料进料量、所述实验结果和分析结果确定实验效果最佳的设定阈值，作为反应设定阈值；获取所述高通量反应釜的各个反应仓的所述反应设定阈值，根据所述反应设定阈值调节各个反应仓的设定工作数据；将所述反应波动数据与所述反应设定阈值进行反应比对，根据反应比对结果推选出最优的反应控制参数；根据所述反应控制参数触发所述反应釜控制指令；根据所述反应釜控制指令对所述高通量反应釜进行控制参数优化处理，根据优化后的控制参数控制对应的若干个反应仓进行生产处理工作。