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连接器镀膜方法及其制备工艺
申请人信息
- 申请人:等离子体装备科技(广州)有限公司; 广东省新兴激光等离子体技术研究院
- 申请人地址:510000 广东省广州市白云区北太路1633号广州民营科技园科颖路1号3栋
- 发明人: 等离子体装备科技(广州)有限公司; 广东省新兴激光等离子体技术研究院
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 连接器镀膜方法及其制备工艺 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311010895.2 |
| 申请日 | 2023/8/10 |
| 公告号 | CN117418208A |
| 公开日 | 2024/1/19 |
| IPC主分类号 | C23C14/54 |
| 权利人 | 等离子体装备科技(广州)有限公司; 广东省新兴激光等离子体技术研究院 |
| 发明人 | 曹祯烨; 朱昆; 曹健辉; 陈惠君; 刘嘉静; 颜学庆 |
| 地址 | 广东省广州市白云区北太路1633号广州民营科技园科颖路1号3栋; 广东省广州市白云区龙归街科泰二路13-19号白云高新区·产业创新园17号第5栋整栋 |
摘要文本
等离子体装备科技(广州)有限公司; 广东省新兴激光等离子体技术研究院获取“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及一种连接器镀膜方法及其制备工艺，该镀膜方法包括：设置遮盖层遮挡所制备的连接器的接触组件的非镀膜部位，根据连接器镀膜所需的镀膜材料选择靶材；获取连接器的镀膜部位的成型的深孔器件的内孔结构参数；根据内孔结构参数规划镀膜部位深孔器件相对于靶材的安装位置；将深孔器件放入真空腔室，并根据安装位置进行安装深孔器件；关闭真空腔室的腔门，控制真空腔室的达到合适的真空气压和温度并通入适量的工作气体，对深孔器件的内孔连接器进行物理气相沉积镀膜。该技术方案，在保证导电性能基础上实现更薄的薄膜，避免了镀膜部位深孔的漏镀和夹断现象；而且可以采用合金靶材或多靶同时镀膜的方式进行合金镀膜或多层镀膜。 关注微信公众号专利查询网
专利主权项内容
1.一种连接器镀膜方法，其特征在于，包括：设置遮盖层遮挡所制备的连接器的接触组件的非镀膜部位；根据所述连接器镀膜所需的镀膜材料选择靶材；获取所述连接器的镀膜部位的结构参数，并根据所述结构参数规划所述连接器的镀膜部位相对于靶材的安装位置；将所述连接器放入真空腔室，并根据所述安装位置安装所述连接器；关闭真空腔室的腔门，控制所述真空腔室的达到合适的真空气压和温度并通入适量的工作气体，对所述连接器进行物理气相沉积镀膜。