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可剥铜载板及其制备方法以及其在先进封装中的应用

申请号: CN202311756403.4
申请人: 深圳市知音科技有限公司
更新日期: 2026-03-09

专利详细信息

项目 内容
专利名称 可剥铜载板及其制备方法以及其在先进封装中的应用
专利类型 发明申请
申请号 CN202311756403.4
申请日 2023/12/19
公告号 CN117737653A
公开日 2024/3/22
IPC主分类号 C23C14/16
权利人 深圳市知音科技有限公司
发明人 皮迎军
地址 广东省深圳市南山区新街口大楼A座1302

摘要文本

深圳市知音科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本发明涉及半导体技术领域,公开了可剥铜载板及其制备方法以及其在先进封装中的应用。公开的可剥铜载板,包括可剥基体,所述可剥基体包括基板和设置在所述基板的至少一面的镍铬合金层,所述可剥铜载板还包括设置在每个所述镍铬合金层上的溅射铜层。公开的制备方法,包括将镍铬合金箔压合到基板上;在镍铬合金箔上溅射铜层。公开了可剥铜载板在先进封装中的应用。本发明提供的可剥铜载板,铜层厚度极薄,可以加工超精细线路,适合芯片先进封装,也可以用于加工IC载板、高密度PCB。

专利主权项内容

1.一种可剥铜载板,其特征在于,包括可剥基体,所述可剥基体包括基板和设置在所述基板的至少一面的镍铬合金层,所述可剥铜载板还包括设置在每个所述镍铬合金层上的溅射铜层;所述镍铬合金层靠近所述铜层的一侧具有钝化膜。