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柔性电极的制作方法、柔性电极及可读存储介质
申请人信息
- 申请人:深圳微灵医疗科技有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市南山区粤海街道滨海社区高新南十道81、83、85号深圳市软件产业基地1栋C1902P
- 发明人: 深圳微灵医疗科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 柔性电极的制作方法、柔性电极及可读存储介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311787313.1 |
| 申请日 | 2023/12/21 |
| 公告号 | CN117766198A |
| 公开日 | 2024/3/26 |
| IPC主分类号 | H01B5/14 |
| 权利人 | 深圳微灵医疗科技有限公司 |
| 发明人 | 张冰杰; 高庆; 袁柳 |
| 地址 | 广东省深圳市南山区粤海街道滨海社区高新南十道81、83、85号深圳市软件产业基地1栋C1902P |
摘要文本
深圳微灵医疗科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供了一种柔性电极的制作方法、柔性电极及可读存储介质。该方法包括：在硅片基底表面设置电极柔性支撑层；在电极柔性支撑层上设置光刻胶，光刻胶覆盖电极柔性支撑层的部分表面；在电极柔性支撑层上沉积形成第一金属层，第一金属层包括在光刻胶上的金属层和在电极柔性支撑层上的电极结构金属层，电极结构金属层包括电极触点、电极触点与焊点之间引线以及电极焊点；去除光刻胶；在电极柔性支撑层上设置封装层，并去除封装层在电极触点和电极焊点上方的部分；将电极柔性支撑层从硅片基底上剥离，获得柔性电极。本申请提供的柔性电极的制作方法，能够省略相关技术中脱合金化处理的步骤，使得柔性电极的制作工艺较为简单，设备要求较低。
专利主权项内容
1.一种柔性电极的制作方法，其特征在于，包括：在硅片基底表面设置电极柔性支撑层；在所述电极柔性支撑层上设置光刻胶，所述光刻胶覆盖所述电极柔性支撑层的部分表面；在所述电极柔性支撑层上沉积形成第一金属层，所述第一金属层包括在所述光刻胶上的金属层和在所述电极柔性支撑层上的电极结构金属层，所述电极结构金属层包括电极触点、电极触点与焊点之间引线以及电极焊点；去除所述光刻胶；在所述电极柔性支撑层上设置封装层，并去除所述封装层在所述电极触点和所述电极焊点上方的部分；将所述电极柔性支撑层从所述硅片基底上剥离，获得柔性电极。