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一种射频电源的多脉冲驱动发生装置
申请人信息
- 申请人:深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
- 申请人地址:518052 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101, 201, 301
- 发明人: 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种射频电源的多脉冲驱动发生装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311638758.3 |
| 申请日 | 2023/12/4 |
| 公告号 | CN117352364B |
| 公开日 | 2024/3/22 |
| IPC主分类号 | H01J37/32 |
| 权利人 | 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 |
| 发明人 | 唐亚海; 林伟群; 林桂浩; 乐卫平 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101, 201, 301 |
摘要文本
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明涉及一种射频电源的多脉冲驱动发生装置，属于射频电源技术领域，解决了现有射频电源在脉冲切换期间稳定性差的问题。该多脉冲驱动发生装置包括多脉冲发生器和切换器；其中，所述切换器连接在所述多脉冲发生器与射频电源的逆变器之间；所述多脉冲发生器，基于参考信号产生多级脉冲信号，各级脉冲信号的输出功率及频率不同；所述切换器，对所述多脉冲发生器产生的多级脉冲信号进行切换，并输出到逆变器对射频电源进行驱动，切换射频电源的输出功率及频率。
专利主权项内容
1.一种射频电源的多脉冲驱动发生装置，其特征在于，所述多脉冲驱动发生装置包括多脉冲发生器和切换器；其中，所述切换器连接在所述多脉冲发生器与射频电源的逆变器之间；所述逆变器为H桥逆变器；所述多脉冲发生器，基于参考信号产生多级脉冲信号，各级脉冲信号的输出功率及频率不同；所述切换器，对所述多脉冲发生器产生的多级脉冲信号进行切换，并输出到逆变器对射频电源进行驱动，切换射频电源的输出功率及频率；所述多脉冲驱动发生装置还包括切换使能控制器；其中，所述切换使能控制器连接在所述切换器与射频电源的逆变器之间；所述切换使能控制器，用于在多级脉冲信号的切换过程中，将逆变器的控制信号置零；还用于在多级脉冲信号的非切换过程中，根据接入的脉冲信号生成逆变器的控制信号；所述逆变器基于所述逆变器的控制信号对射频电源进行驱动；所述切换使能控制器包括编码器和逆变控制器；其中，所述编码器，用于输出高电位或低电位；所述逆变控制器，在多级脉冲信号的切换过程中，根据编码器提供的设定时间宽度的低电位，将逆变控制器输出的逆变器的控制信号置零，关闭逆变器的开关管。