卡盘清洁方法及相关装置

专利主权项内容

1.一种卡盘清洁方法，其特征在于，应用于测试仓，所述测试仓包括卡盘、吹气装置、气体温度调节装置和排风扇；所述方法包括：获取所述卡盘上的异物位置、异物大小和异物数量；根据所述异物大小和所述异物数量确定所述吹气装置的目标吹气参数，所述目标吹气参数包括吹目标气体的目标吹气风速和目标吹气量；根据所述异物位置和所述目标吹气参数确定目标吹气路径，所述目标吹气路径为所述吹气装置的移动路径；获取所述测试仓内的测试温度、测试湿度以及所述测试仓外的环境温度，以及获取所述卡盘与所述气体温度调节装置之间的目标距离；根据所述测试温度、所述环境温度和所述目标距离确定由所述吹气装置吹出来的气体的目标气体温度；根据所述目标吹气量和所述测试湿度确定由所述吹气装置吹出来的气体的目标气体湿度；根据所述目标气体温度、所述目标气体湿度和目标吹气参数确定所述目标气体的目标属性参数，所述目标属性参数包括气体温度、气体湿度、吹气参数；根据所述目标属性参数配置所述目标气体，按照所述目标吹气路径向所述卡盘吹入所述目标气体，并通过所述排风扇将异物排出；其中，所述根据所述异物大小和所述异物数量确定所述吹气装置的吹气参数，包括：根据预设的异物大小与风速之间的映射关系，确定所述异物大小对应的目标风速；根据预设的异物数量与吹气量之间的映射关系，确定所述异物数量对应的目标吹气量；根据所述目标风速和所述目标吹气量确定所述目标吹气参数；其中，所述根据所述异物位置和所述目标吹气参数确定目标吹气路径，包括：获取异物被吹出所述卡盘的出口位置；根据所述出口位置、所述异物位置确定异物行走路径；根据所述目标吹气参数和所述异物行走路径确定所述目标吹气路径；其中，所述根据所述测试温度、所述环境温度和所述目标距离确定由所述吹气装置吹出来的气体的目标气体温度，包括：若所述目标距离小于预设距离阈值，确定所述目标气体温度为所述测试温度；若所述目标距离大于或者等于所述预设距离阈值，获取所述环境温度对应的目标热对流系数，所述目标热对流系数表示所述目标气体与空气之间的对流系数；根据所述目标热对流系数对所述测试温度进行调整，得到参考气体温度；根据所述目标吹气风速和所述目标距离确定温度调节因子；根据所述温度调节因子对所述参考气体温度进行调节，得到所述目标气体温度；其中，所述根据所述目标吹气风速和所述目标距离确定温度调节因子，包括：按照预设的距离与调节因子之间的映射关系，确定所述目标距离对应的参考调节因子；确定与所述目标吹气风速对应的目标微调参数；通过所述目标微调参数对所述参考调节因子进行微调，得到所述温度调节因子；其中，所述根据所述目标吹气量和所述测试湿度确定由所述吹气装置吹出来的气体的目标气体湿度，包括：根据所述目标吹气量和所述目标吹气风速确定目标吹气时长；根据所述目标吹气时长确定对应的湿度变化量；若所述测试温度高于预设第一温度阈值，则根据所述测试温度确定第一湿度调节参数；根据所述湿度变化量及所述第一湿度调节参数对所述测试湿度进行调节，得到所述目标气体湿度；若所述测试温度低于预设第二温度阈值，则根据所述测试温度确定第二湿度调节参数，所述预设第二温度阈值小于所述预设第一温度阈值；根据所述湿度变化量及所述第二湿度调节参数对所述测试湿度进行调节，得到所述目标气体湿度；若所述测试温度不高于所述预设第一温度阈值且不低于所述预设第二温度阈值，则确定所述目标气体湿度为所述测试湿度。