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探针校准方法、装置、电子设备及存储介质
申请人信息
- 申请人:深圳市森美协尔科技有限公司
- 申请人地址:518103 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层
- 发明人: 深圳市森美协尔科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 探针校准方法、装置、电子设备及存储介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311810184.3 |
| 申请日 | 2023/12/27 |
| 公告号 | CN117476529A |
| 公开日 | 2024/1/30 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 发明人 | 欧晓永 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层 |
摘要文本
深圳市森美协尔科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种探针校准方法、装置、电子设备及存储介质，该方法应用于晶圆检测装置，装置包括探针台和晶圆测试台，探针台相对于晶圆测试台的平面上包括多个探针，晶圆测试台上放置有目标晶圆，包括：获取多个探针中多个探针相对于晶圆测试台的针尖高度，根据针尖高度确定多个探针的第一坐标；根据第一坐标确定多个探针相对于晶圆测试台的第一角度；获取目标晶圆的测试面相对于晶圆测试台的第二角度；根据第一角度和第二角度确定多个探针的第一目标角度，控制多个探针从第一角度移动至对应的第一目标角度，以使多个第一角度匹配第二角度。提高了获取的探针角度的准确性的同时避免了在检测过程中对晶圆和探针的损坏。
专利主权项内容
1.一种探针校准方法，其特征在于，应用于晶圆检测装置，所述装置包括探针台和晶圆测试台，所述探针台相对于所述晶圆测试台的平面上包括多个探针，所述晶圆测试台上放置有目标晶圆，所述方法包括：获取所述多个探针中多个探针相对于所述晶圆测试台的针尖高度，根据所述针尖高度确定所述多个探针的第一坐标；根据所述第一坐标确定所述多个探针相对于所述晶圆测试台的第一角度；获取目标晶圆的测试面相对于所述晶圆测试台的第二角度；根据所述第一角度和所述第二角度确定所述多个探针的第一目标角度，控制所述多个探针从所述第一角度移动至对应的所述第一目标角度，以使所述第一角度匹配所述第二角度。