一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备
申请人信息
- 申请人:广东仁懋电子有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市罗湖区桂园街道鹿丹村社区滨河路1011号鹿丹大厦1901
- 发明人: 广东仁懋电子有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311744137.3 |
| 申请日 | 2023/12/19 |
| 公告号 | CN117420144B |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | G01N21/88 |
| 权利人 | 广东仁懋电子有限公司 |
| 发明人 | 窦静; 仇亮 |
| 地址 | 广东省深圳市罗湖区桂园街道鹿丹村社区滨河路1011号鹿丹大厦1901 |
摘要文本
广东仁懋电子有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，属于检测设备技术领域，主要包括导向框板，在导向框板的内部转动连接有双向联动螺杆，双向联动螺杆的外壁且靠近其底端位置处螺纹连接有螺纹套接支块，且螺纹套接支块的外壁一侧安装有联动翻转机构；联动翻转机构包括安装在螺纹套接支块外壁一侧的圆环块。本发明采用联动翻转机构使双向联动螺杆带动螺纹套接支块在螺纹的作用下上移，凹形联动架带动两个联动齿条移动，联动齿条带动联动旋转齿轮啮合旋转，联动转杆带动L形联动夹板使高可靠碳化硅MOS器件能够旋转，多个高可靠碳化硅MOS器件能够同步实现旋转多向检测缺陷，检测效率大幅度提高。
专利主权项内容
1.一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，包括导向框板(1)，所述导向框板(1)的内部转动连接有双向联动螺杆(2)，所述双向联动螺杆(2)的外壁且靠近其底端位置处螺纹连接有螺纹套接支块(3)，其特征在于：所述螺纹套接支块(3)的外壁一侧安装有联动翻转机构；所述联动翻转机构包括安装在螺纹套接支块(3)外壁一侧的圆环块(4)，所述圆环块(4)的外壁呈圆环等距分布连接有多个铰接凹块(5)，每个所述铰接凹块(5)的内部均安装有倾斜铰接套杆(6)，所述倾斜铰接套杆(6)的外壁且靠近其顶端位置处安装有凹形铰接联动块(7)，在所述凹形铰接联动块(7)的一侧焊接有凹形联动架(8)，所述凹形联动架(8)的两端部均焊接有联动齿条(9)，所述联动齿条(9)的上方啮合传动连接有联动旋转齿轮(10)，所述联动旋转齿轮(10)的内壁固定连接有转动套筒(11)，所述转动套筒(11)内壁滑动连接联动转杆(12)，所述联动转杆(12)的一端部焊接有L形联动夹板(13)，所述双向联动螺杆(2)的外壁且靠近其顶端位置处螺纹连接有螺纹套接联动块(24)，所述螺纹套接联动块(24)的一侧安装有联动检测组件；所述联动检测组件包括安装在螺纹套接联动块(24)一侧的圆环联动架(25)，且所述圆环联动架(25)的外壁连接有多个联动铰接块(26)，所述联动铰接块(26)的内部转动连接有倾斜套接支架(27)，在所述倾斜套接支架(27)的外壁且靠近其底端位置处转动连接有铰接联动滑块(28)，所述铰接联动滑块(28)的一侧焊接有联动支架(29)，所述联动支架(29)的一端部固定连接有用于检测碳化硅MOS器件的视觉检测传感器(30)，所述联动支架(29)的底端焊接有套接滑架(31)，所述套接滑架(31)的内部且靠近其底端位置处滑动连接有导向支杆(32)，多个所述联动铰接块(26)呈圆环等距分布排列设置，多个所述联动铰接块(26)均与圆环联动架(25)之间焊接，所述导向框板(1)的外壁且靠近其中部位置处焊接有套接平台(33)，所述套接平台(33)的下方设有联动锁紧组件；所述联动锁紧组件包括设置在套接平台(33)下方的嵌入转环(34)，且所述嵌入转环(34)的底端焊接有联动齿轮(35)，所述联动齿轮(35)的外壁一侧啮合传动连接有传动齿轮(36)，在所述传动齿轮(36)底端嵌入插接有减速驱动电机(37)，所述减速驱动电机(37)与导向框板(1)之间固定连接有固定支架(38)，所述嵌入转环(34)的外壁焊接有多个套接滑槽条(39)，每个所述套接滑槽条(39)的内部均滑动连接有限位联动杆(40)，所述限位联动杆(40)的顶端焊接有联动轴环(41)，所述联动轴环(41)的内壁与联动转杆(12)外壁之间嵌入转动连接，所述联动齿轮(35)和嵌入转环(34)均与导向框板(1)之间转动连接，多个所述套接滑槽条(39)呈圆环等距分布排列设置。。来自马-克-数-据-官网