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一种CIS晶圆测试系统及方法
申请人信息
- 申请人:深圳米飞泰克科技股份有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层
- 发明人: 深圳米飞泰克科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种CIS晶圆测试系统及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311566373.0 |
| 申请日 | 2023/11/22 |
| 公告号 | CN117723930A |
| 公开日 | 2024/3/19 |
| IPC主分类号 | G01R31/28 |
| 权利人 | 深圳米飞泰克科技股份有限公司 |
| 发明人 | 陈增亮; 梅利文; 杨泽坤; 刘乐; 赵海洋; 王伟; 李安平 |
| 地址 | 广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层 |
摘要文本
深圳米飞泰克科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供了一种CIS晶圆测试系统及方法。所述方法包括：探针台、设置探针台上的探针卡、测试机和光源装置，光源装置设置于探针台上，光源装置分别与测试机和探针台电连接，测试机与探针台电连接；测试机，用于针对CIS晶圆的每个芯片，在芯片的预设光照时长内，控制光源装置发出芯片所需光强度的光信号，光信号通过探针卡作用于芯片上；光源装置，还用于在光信号通过探针卡作用于芯片上后，采集光信号的光参数，并根据光参数判断光信号的有效性，获得判断结果，并向探针台发送判断结果；探针台，用于接收来自光源装置的判断结果后，若判断结果为有效，则执行测试操作。本申请能够提供稳定的，满足不同场景需求的光源。
专利主权项内容
微信公众号马克 数据网 1.一种CIS晶圆测试系统，其特征在于，包括：探针台、设置于所述探针台上的探针卡、测试机和光源装置，所述光源装置设置于所述探针台上，所述光源装置分别与所述测试机和所述探针台电连接，所述测试机与所述探针台电连接；所述测试机，用于针对CIS晶圆的每个芯片，在所述芯片的预设光照时长内，控制所述光源装置发出所述芯片所需光强度的光信号，所述光信号通过所述探针卡作用于所述芯片上；所述光源装置，还用于在光信号通过所述探针卡作用于所述芯片上后，采集所述光信号的光参数，并根据所述光参数判断所述光信号的有效性，获得判断结果，向所述探针台发送所述判断结果；所述探针台，用于接收来自所述光源装置的所述判断结果后，若所述判断结果为有效，则执行测试操作。