晶圆缺陷检测方法、装置、电子束扫描设备及存储介质

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深圳市昇维旭技术有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请属于半导体技术领域，揭示一种晶圆缺陷检测方法、装置、电子束扫描设备及存储介质，该方案在启动对待检晶圆的目标缺陷检测区域进行电子束扫描以后，获取待检晶圆的晶圆图像，并计算晶圆图像的图像锐度，基于晶圆图像的图像锐度，获得晶圆图像的锐度评估值，当锐度评估值不符合预设条件，说明获取到的晶圆图像质量不良，标记待检晶圆的缺陷检测结果为不可靠检测结果，区分于晶圆图像质量良好的待检晶圆的缺陷检测结果，提高各待检晶圆的缺陷检测结果可靠性，避免后续工序使用错误的缺陷检测结果。并且，还通过中止待检晶圆的缺陷检测，及时停止该晶圆图像质量不良的待检晶圆的缺陷检测程序，避免无意义的执行步骤，提高EBI的有效利用率。