一种一体式全自动滤光片分选设备及其分选方法

专利主权项内容

1.一种一体式全自动滤光片分选设备，其特征在于，包括：支撑平台(1)，所述支撑平台(1)上设置有晶圆环调节机构(2)，所述晶圆环调节机构(2)的输出端设置有滤光片分选机构(3)，所述滤光片分选机构(3)的输出端设置有直线驱动机构(4)，所述直线驱动机构(4)的输出端设置有负压定位机构(5)，所述直线驱动机构(4)用于驱动负压定位机构(5)做直线运动，所述负压定位机构(5)用于对华夫盒进行负压定位，所述滤光片分选机构(3)与直线驱动机构(4)均安装在支撑平台(1)上；所述负压定位机构(5)包括负压吸附台(51)，所述负压吸附台(51)内开设有负压空腔，所述负压吸附台(51)的顶部开设有多个等间距设置的气孔(52)，所述气孔(52)的内部设置有封堵结构，所述封堵结构在气孔(52)顶部无华夫盒遮挡时封堵气孔(52)，所述封堵结构在气孔(52)顶部有华夫盒遮挡时开启气孔(52)；所述封堵结构为圆筒(521)，所述圆筒(521)固定安装在气孔(52)的内壁上，所述圆筒(521)内滑动安装有密封塞(523)，所述密封塞(523)上开设有泄压孔一(524)，所述圆筒(521)的底端固定安装有套环(522)，所述套环(522)上固定连接有卡轴(5221)，所述卡轴(5221)与泄压孔一(524)相适配，所述密封塞(523)的底部固定连接有弹性件二(525)，所述弹性件二(525)的底端与套环(522)固定连接；所述气孔(52)的内壁上开设有辅助孔(511)，所述圆筒(521)上开设有滑槽，所述滑槽与辅助孔(511)相连通，所述辅助孔(511)与负压吸附台(51)的负压空腔连通，所述滑槽内滑动连接有阻尼座(526)，所述阻尼座(526)上开设有泄压孔二(527)，所述阻尼座(526)上固定连接有弹性件一(512)，所述弹性件一(512)远离阻尼座(526)的一端与辅助孔(511)的内壁固定连接；所述负压吸附台(51)的底部固定安装有直线驱动器一(53)，所述直线驱动器一(53)的输出端固定连接有挡板(54)，所述挡板(54)与负压空腔的顶部内壁相接触，所述挡板(54)用于对相对应的气孔(52)进行封堵。 百度搜索马 克 数 据 网