膜片式法珀干涉与FBG复用的光纤传感器批量制作方法

专利主权项内容

1.膜片式法珀干涉与FBG复用的光纤传感器批量制作方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，加工圆盘(1)，在圆盘(1)一侧周向固定若干支撑柱(3)，在圆盘(1)上开设若干通孔(2)，之后对圆盘(1)进行装夹定位；S2，在通孔(2)内均插入准直套管(5)，并对准直套管(5)粘接固定，对准直套管(5)和支撑柱(3)的端部分别进行抛光处理；S3，对固定有准直套管(5)的圆盘(1)置超声清洗，之后取出烘干；S4，加工膜片，对膜片其中一个面打磨抛光，抛光后的膜片光胶在支撑柱(3)，且抛光面与准直套管(5)接触，之后对膜片另一个面进行打磨形成磨砂面；S5，将圆盘(1)放置在激光器下方，磨砂面向上，设置激光焊接圆形路径的半径，依次将所有的准直套管(5)分别与膜片焊接；S6，在准直套管(5)内壁分别进行固定光纤、光纤上刻写FBG操作，依次作业，完成所有准直套管(5)的加工；S7，对准直套管(5)进行下盘操作，并对准直套管(5)清洗烘干，完成传感结构的加工。