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一种平面度间隙自适应调整方法、装置、设备和介质
申请人信息
- 申请人:迈为技术(珠海)有限公司
- 申请人地址:519005 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室(集中办公区)
- 发明人: 迈为技术(珠海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种平面度间隙自适应调整方法、装置、设备和介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311697990.4 |
| 申请日 | 2023/12/12 |
| 公告号 | CN117393487A |
| 公开日 | 2024/1/12 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 迈为技术(珠海)有限公司 |
| 发明人 | 盛存国; 梁志敏; 何江玲 |
| 地址 | 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室(集中办公区) |
摘要文本
迈为技术(珠海)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及一种平面度间隙自适应调整方法、装置、设备和介质。所述方法包括：获取上基板姿态测量数据和下基板姿态测量数据，其中，所述上基板姿态测量数据用于表征上基板的平面度，所述下基板姿态测量数据用于表征下基板的平面度；根据所述上基板姿态测量数据和所述下基板姿态测量数据计算基板偏离数据；获取调整机构的当前位置测量数据；根据所述基板偏离数据和所述调整机构的当前位置测量数据计算调整位移数据；根据所述调整位移数据对上基板姿态或下基板姿态进行自适应调整。采用本方法能够自动实现上下基板的姿态调节，提高调整结果的精准度。 来源：百度马 克 数据网
专利主权项内容
1.一种平面度间隙自适应调整方法，其特征在于，所述方法包括：获取上基板姿态测量数据和下基板姿态测量数据，其中，所述上基板姿态测量数据用于表征上基板的平面度，所述下基板姿态测量数据用于表征下基板的平面度；根据所述上基板姿态测量数据和所述下基板姿态测量数据计算基板偏离数据；获取调整机构的当前位置测量数据；根据所述基板偏离数据和所述调整机构的当前位置测量数据计算调整位移数据；根据所述调整位移数据对上基板姿态或下基板姿态进行自适应调整。