一种基于图像识别的半导体表面缺陷检测系统

专利主权项内容

1.一种基于图像识别的半导体表面缺陷检测系统，其特征在于，包括服务器、图像扫描采集模块、图像预处理模块、图像定位配准模块、像素瑕疵检测识别模块以及表面缺陷综合评估模块；图像扫描采集模块通过扫描电子显微镜或原子力显微镜采集到半导体晶圆的表面图像，将所采集到的表面图像标记为目标图像，将目标图像经服务器发送至图像预处理模块；图像预处理模块利用图像预处理技术将所接收的目标图像进行预处理，且将预处理后的目标图像经服务器发送至图像定位配准模块；图像定位配准模块从服务器调取半导体晶圆的标准模板图像，将目标图像和标准模板图像通过特征匹配技术进行特征点匹配，基于相应的特征点对图像进行几何变换以使两者对齐，实现半导体晶圆的目标图像和标准模板图像的定位配准；像素点检测识别模块基于定位配准后的目标图像和标准模板图像进行半导体晶圆表面的像素瑕疵识别分析，以捕捉目标图像中的瑕疵点像素，且将所捕捉的瑕疵点像素经服务器发送至表面缺陷综合评估模块；表面缺陷综合评估模块通过分析以对半导体晶圆进行等级判定，将半导体晶圆标记为优级晶圆、良级晶圆或淘汰晶圆，且将对应半导体晶圆的等级判定信息发送至服务器。