← 返回列表
基板载具
申请人信息
- 申请人:技感半导体设备(南通)有限公司
- 申请人地址:226000 江苏省南通市开发区苏通科技产业园江成路1088号江成研发园1号楼1529-145室(CSSD)
- 发明人: 技感半导体设备(南通)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基板载具 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311759249.6 |
| 申请日 | 2023/12/20 |
| 公告号 | CN117650089A |
| 公开日 | 2024/3/5 |
| IPC主分类号 | H01L21/673 |
| 权利人 | 技感半导体设备(南通)有限公司 |
| 发明人 | 赵凯; 梁猛; 林海涛; 刘越; 张伟; 姜菲菲 |
| 地址 | 江苏省南通市开发区苏通科技产业园江成路1088号江成研发园1号楼1529-145室(CSSD) |
摘要文本
一种基板载具，包括下载板、上盖、在磁铁的磁力作用下分别压住对应定位槽中的基板的多个压板以及在所述压板的上方进行限位的限位件，所述下载板的上表面具有用于放置基板的多个定位槽，下表面设有磁铁，所述下载板具有用于安装所述上盖的第一定位结构，所述上盖具有与所述第一定位结构适配的第二定位结构，所述压板的数量与所述定位槽的数量相同，所述上盖具有供所述多个压板接触对应的基板的多个通孔，所述多个通孔与所述多个定位槽上下一一对应，所述多个压板嵌于对应的通孔中，所述限位件固定于所述上盖上。本发明基板载具通过磁力由多个压板分别来压紧与其一一对应的基板，提高了载具的稳定性和精度，提升产品良率。
专利主权项内容
1.一种基板载具，包括下载板以及上盖，所述下载板的上表面具有用于放置基板的多个定位槽，下表面设有磁铁，所述下载板具有用于安装所述上盖的第一定位结构，所述上盖具有与所述第一定位结构适配的第二定位结构，其特征在于，还包括在所述磁铁的磁力作用下分别压住对应定位槽中的基板的多个压板以及在所述压板的上方进行限位的限位件，所述压板的数量与所述定位槽的数量相同，所述上盖具有供所述多个压板接触对应的基板的多个通孔，所述多个通孔与所述多个定位槽上下一一对应，所述多个压板嵌于对应的通孔中，所述限位件固定于所述上盖上。