← 返回列表
一种叠瓦电池及低折背膜与金属化工艺
申请人信息
- 申请人:江苏龙恒新能源有限公司
- 申请人地址:223703 江苏省宿迁市宿迁经济技术开发区上海路1299号
- 发明人: 江苏龙恒新能源有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种叠瓦电池及低折背膜与金属化工艺 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311538540.0 |
| 申请日 | 2023/11/17 |
| 公告号 | CN117637910A |
| 公开日 | 2024/3/1 |
| IPC主分类号 | H01L31/18 |
| 权利人 | 江苏龙恒新能源有限公司 |
| 发明人 | 魏小席; 赵刚; 陈实; 张宇航; 赵杰; 张洲; 李旭; 任开绪; 丰平; 许加静 |
| 地址 | 江苏省宿迁市宿迁经济技术开发区上海路1299号 |
摘要文本
本发明公开了一种叠瓦电池及低折背膜与金属化工艺，包括由内到外依次设置的氮氧化硅层、第一硅氮层、第二硅氮层、第三硅氮层，在反应炉中通入SiH4、NH3，反应时间190‑210s，生成硅氮比为1 : 4.6‑4.9的第一硅氮层，在反应炉中通入SiH4、NH3，反应时间140‑160s，生成硅氮比为1 : 8.9‑9.1的第二硅氮层，在反应炉中通入SiH4、NH3，反应时间90‑110s，生成硅氮比为1 : 11.7‑11.9的第三硅氮层。本发明既能够降低激光开槽的孔径，降低硅基底与铝的反应，又能提升SiNx的稳定性，减轻其与铝浆的化学反应，从而降低线电阻，提高了叠瓦电池的效率。 来源：百度搜索专利查询网
专利主权项内容
1.一种低折叠瓦电池背膜的金属化工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，将待处理叠瓦电池背膜放入第一反应炉中，在第一反应炉中通入SH、NH、NO，反应时间130-150s，在待处理叠瓦电池背膜上生成氮氧化硅层；i432步骤二，将生成氮氧化硅层的待处理叠瓦电池背膜放入第二反应炉中，在第二反应炉中通入SH、NH，反应时间190-210s，在氮氧化硅层上生成第一硅氮层，第一硅氮层的硅氮比为1 : 4.6-4.9；i43步骤三，将生成第一硅氮层的待处理叠瓦电池背膜放入第三反应炉中，在第三反应炉中通入SH、NH，反应时间140-160s，在第一硅氮层上生成第二硅氮层，第二硅氮层的硅氮比为1 : 8.9-9.1；i43步骤四，将生成第二硅氮层的待处理叠瓦电池背膜放入第四反应炉中，在第四反应炉中通入SH、NH，反应时间90-110s，在第二硅氮层上生成第三硅氮层，第三硅氮层的硅氮比为1 : 11.7-11.9。i43