一种卡盘传动结构

专利主权项内容

1.一种卡盘传动结构，包括旋转盘、外壳和介质分配环，所述介质分配环套设在所述外壳中部内，所述旋转盘可转动的设置在所述介质分配环内, 其特征在于：所述旋转盘上设有第三介质通道，所述外壳设有第四介质通道，所述介质分配环外侧表面环设有第一凹槽，介质分配环内侧表面环设有第二凹槽，所述第一凹槽与所述外壳的内壁形成第一介质通道，所述第二凹槽与所述旋转盘的外壁形成第二介质通道，所述第一介质通道和所述第二介质通道通过设置在所述介质分配环上的导流通道连通，所述第一介质通道通过所述第四介质通道与外界连通，所述第二介质通道连通过所述第三介质通道与外界连通；所述旋转盘包括法兰主轴和周向设置在所述法兰主轴上的卡盘本体，所述第三介质通道设置在所述法兰主轴上，所述法兰主轴套设在所述介质分配环内；所述介质分配环的外环设有第一凹腔，所述第一凹腔内设有第一凸台，所述第一凹槽形成于第一凸台上；所述介质分配环的内环设有第二凹腔，所述第二凹腔内设有第二凸台，所述第二凹槽形成于第二凸台上；所述第一凸台和所述第二凸台设有至少两个并且间隔布置，所述两第一凸台之间以及第一凸台与所述第一凹腔之间形成第一密封槽；所述两第二凸台之间以及第二凸台与所述第二凹腔之间形成第二密封槽；还包括密封圈，所述密封圈设置在所述第一密封槽和第二密封槽内。