一种数字光纤合束器及利用光纤合束获取动态掩膜的方法

专利主权项内容

1.一种数字光纤合束器，其特征在于，应用于无掩膜光刻系统，包括：光纤合束模块、光通断模块和封装及保护模块；其中，所述光纤合束模块包括位于数字光纤合束器两端对称分布的、结构相同的第一光纤合束和第二光纤合束，光纤合束为多束直径为微米级别的外包光纤按照预设的排列方式组合而成；所述光通断模块包括多个阵列分布的连接小室及位于每个连接小室狭缝内的像元开关，连接小室的数量为外包光纤总数的一半，每个连接小室用于容纳所述第一光纤合束的第一外包光纤内端和与所述第一外包光纤相应的所述第二光纤合束的第二外包光纤内端，且所述第一外包光纤内端端面与所述第二外包光纤内端端面间形成狭缝；通过控制像元开关的遮光散光板，以实现控制光源出射的光束经过所述第一光纤合束是否传输至所述第二光纤合束；所述遮光散光板的中心轴与外包光纤中心轴一致；所述封装及保护模块包括封装单元和保护单元，所述封装单元封装连接所述像元开关，所述保护单元用于对所述光纤合束模块和所述光通断模块进行保护；所述像元开关包括遮光散光板、扭转轴、微金属板、轭板、寻址电极、寻址板、偏转复位总线；其中，轭板正中心连接遮光散光板，左右两端连接两个微金属板，扭转轴与轭板相连，下层与偏转复位总线相连；在静电作用下，微金属板带动轭板在扭转轴的枢纽上旋转，使遮光散光板产生10°偏角，光从第一光纤合束直线传播到第二光纤合束；微金属板、轭板、偏转复位总线相连通并处于同一电位，寻址电极与寻址板相连；扭转轴、轭板和寻址电极处于下层，寻址板与偏转复位总线处于上层，微金属板与轭板有间距，其间距等于上层和下层的距离。 （更多数据，详见马克数据网）