离子源及质谱仪

专利主权项内容

1.一种离子源，其特征在于，包括：引出极板、第一绝缘件、第一接地板，所述引出极板通过所述第一绝缘件与所述第一接地板相连，所述引出极板设有引出孔，所述第一接地板设有与所述引出孔相应的第一通孔；第一套筒、离子聚焦模块，所述第一套筒为导电套筒，所述第一套筒一端与所述第一接地板相连，所述第一套筒另一端与所述离子聚焦模块相连，所述第一套筒的通孔与所述引出孔相应设置；第二接地板、连接件，所述第二接地板设有与所述引出孔相应的第二通孔，所述第二接地板与所述离子聚焦模块之间具有间隔，所述第二接地板通过所述连接件与所述离子聚焦模块相连；所述连接件能够用于调节所述第二接地板远离或靠近所述离子聚焦模块；所述第二接地板侧部具有凸耳，所述凸耳用于电性连接至质谱仪外筒的内侧壁；所述连接件为导电件；反射镜，所述反射镜设置在所述第二接地板上，所述反射镜用于将外部光路通过所述离子聚焦模块、所述第一套筒的通孔、所述第一通孔、所述引出孔反射至样品靶上；偏转模块，所述偏转模块设置在所述第二接地板上；其中，所述离子聚焦模块包括第一极板、第二极板、导电柱、第二绝缘件、第三绝缘件、第三接地板及第四接地板；所述第一极板通过所述导电柱与所述第二极板相连，所述第一极板通过所述第二绝缘件与所述第三接地板相连，所述第一极板具有与所述引出孔相应的第三通孔；所述第三接地板设有与所述引出孔相应的第四通孔，所述第三接地板与所述第一套筒相连；所述第二极板通过所述第三绝缘件与所述第四接地板相连，所述第二极板设有与所述引出孔相应的第五通孔；所述第四接地板设有与所述引出孔相应的第六通孔，所述第四接地板与所述连接件相连。