可精确控制伸缩量的机械手及多管反应室上舟系统

专利主权项内容

1.一种具有机械手的多管反应室上舟系统，其特征在于，包括：间隔设置的立柱和机架、多个由上至下排列在所述立柱上的暂存架、多个由上至下排列在所述机架上的推舟机构、设于所述推舟机构上的SIC桨、活动连接在所述立柱上且向机架水平伸出的机械手、推动所述机械手沿所述立柱升降运动的升降电动机构、与所述机械手及升降电动机构连接的控制器，所述机械手位于所述暂存架的一侧，所述机械手的活动手爪在所述SIC桨和暂存架之间水平伸缩运动；所述机械手包括：连接手臂、活动连接在所述连接手臂上且沿其直线往复运动的活动手爪，所述连接手臂上安装有第一磁尺，所述第一磁尺的长度方向与所述活动手爪的运动方向相互平行，所述活动手爪上安装有第一磁性位移传感器，所述第一磁性位移传感器的检测端朝向所述第一磁尺；所述活动手爪在连接手臂上往复运动时，所述第一磁性位移传感器的检测端沿所述第一磁尺的长度方向移动；每个所述推舟机构上均设有SIC桨，所述立柱上排列的暂存架与所述机架上排列的SIC桨在高度上相互错开，将磁性位移传感器连接在控制器上，设定机械手在不同高度的伸缩量，所述控制器调节所述机械手的高度位置，并通过磁性位移传感器控制活动手爪的水平伸缩距离。