匹配状态反馈电路以及射频电源设备

专利主权项内容

1.一种匹配状态反馈电路，用于对射频电源与负载的匹配状态进行反馈，其特征在于，包括：电压采集单元，与所述射频电源的输出端连接，用于采集所述射频电源的输出电压，并将采集到的输出电压转换为电压比较信号；电流采集单元，与所述射频电源的输出端连接，用于采集所述射频电源的输出电流，并将采集到的输出电流转换为电流比较信号；连接单元，与所述电压采集单元和所述电流采集单元分别连接，用于接收所述电压比较信号以及所述电流比较信号，并根据所述电压比较信号与所述电流比较信号的大小而处于相应的路径断开状态或路径连接状态，以使得所述电压采集单元以及所述电流采集单元通过所述连接单元而处于相应的断开状态或连接状态；其中，所述电流采集单元具有一反馈端，所述反馈端用于根据所述电压采集单元以及所述电流采集单元所处于的断开状态或连接状态而产生相应的反馈信号，其中，所述反馈信号为零时，表征所述射频电源的输出电压与输出电流的相位差为零，此时所述射频电源与所述负载的阻抗匹配，所述反馈信号不为零时，表征所述射频电源的输出电压与输出电流的相位差不为零，此时所述射频电源与所述负载的阻抗失配。