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一种基于等离子体刻蚀和改性作用的金刚石抛光方法
申请人信息
- 申请人:南方科技大学
- 申请人地址:518055 广东省深圳市南山区桃源街道学苑大道1088号
- 发明人: 南方科技大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于等离子体刻蚀和改性作用的金刚石抛光方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410184040.X |
| 申请日 | 2024/2/19 |
| 公告号 | CN117733662A |
| 公开日 | 2024/3/22 |
| IPC主分类号 | B24B1/00 |
| 权利人 | 南方科技大学 |
| 发明人 | 邓辉; 肖玉玺; 何铨鹏 |
| 地址 | 广东省深圳市南山区桃源街道学苑大道1088号 |
摘要文本
本发明提供了一种基于等离子体刻蚀和改性作用的金刚石抛光方法，包括：通过夹具将待抛光的金刚石置于刚性抛光盘上方；刚性抛光盘上设置有多个贯通上下的通孔；控制金刚石和刚性抛光盘以相反方向旋转；使包含氧自由基与羟基自由基的大气电感耦合等离子体对金刚石进行加热；当加热到瞬时温度超过表面原子差异化刻蚀所对应的临界转变温度时，产生原子选择性刻蚀和改性作用，完成对金刚石的抛光。本发明在金刚石抛光方法中运用包含高浓度高活性的氧自由基和羟基自由基的大气电感耦合等离子体，通过结合原子选择性刻蚀去除和羟基改性抛光去除实现对金刚石表面的平坦化处理，在提高对金刚石的抛光效率的同时简化了抛光装置。
专利主权项内容
1.一种基于等离子体刻蚀和改性作用的金刚石抛光方法，其特征在于，包括：通过夹具将待抛光的金刚石置于刚性抛光盘上方；所述刚性抛光盘上设置有多个贯通上下的通孔；通过所述夹具控制所述金刚石在第一方向旋转，控制所述刚性抛光盘在第二方向旋转；所述第一方向与所述第二方向相反；在所述刚性抛光盘上方喷出包含氧自由基与羟基自由基的大气电感耦合等离子体，以使得所述大气电感耦合等离子体穿过所述通孔对所述金刚石进行加热；当加热到瞬时温度超过表面原子差异化刻蚀所对应的临界转变温度时，通过所述大气电感耦合等离子体中的氧自由基对所述金刚石进行原子选择性刻蚀，同时通过所述大气电感耦合等离子体中羟基自由基对所述金刚石进行改性作用，完成对所述金刚石的抛光。