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等离子体刻蚀电路及装置
申请人信息
- 申请人:深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101, 201, 301
- 发明人: 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 等离子体刻蚀电路及装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410179676.5 |
| 申请日 | 2024/2/18 |
| 公告号 | CN117728673A |
| 公开日 | 2024/3/19 |
| IPC主分类号 | H02M3/00 |
| 权利人 | 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 |
| 发明人 | 刘涛; 乐卫平; 宋成; 张文杰; 谢幸光; 王霞; 吴凤波 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101, 201, 301 |
摘要文本
来自专利查询网 本申请涉及等离子体刻蚀电路及装置，其中，等离子体刻蚀电路包括：电源电路，所述电源电路用于产生高频电磁场；极性变换电路，所述极性变换电路具有输入端、第一输出端和第二输出端，所述极性变换电路的输入端与所述电源的输出端连接，所述极性变换电路的第一输出端与第一电极电连接，所述极性变换电路的第二输出端与第二电极电连接，所述极性变换电路用于周期性变换输出至所述第一电极和第二电极的电源极性。本发明技术方案通过电源极性的周期性变换，以使刻蚀腔室中的等离子体的扩散方向从单向变为双向，从而使蚀刻效率更高，且刻蚀腔室内的各电路板刻蚀均匀，蚀刻效果较好。
专利主权项内容
1.一种等离子体刻蚀电路，其特征在于，包括：电源电路，所述电源电路用于产生高频电磁场；极性变换电路，所述极性变换电路具有输入端、第一输出端和第二输出端，所述极性变换电路的输入端与所述电源的输出端连接，所述极性变换电路的第一输出端与第一电极电连接，所述极性变换电路的第二输出端与第二电极电连接，所述极性变换电路用于周期性变换输出至所述第一电极和第二电极的电源极性。 马 克 数 据 网