← 返回列表
一种用于寻边器晶圆定位的视觉定位方法
申请人信息
- 申请人:深圳互喜智联科技有限公司
- 申请人地址:518055 广东省深圳市南山区西丽街道曙光社区深圳市南山区创盛路1号康和盛大楼101
- 发明人: 深圳互喜智联科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于寻边器晶圆定位的视觉定位方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410123196.7 |
| 申请日 | 2024/1/30 |
| 公告号 | CN117649451A |
| 公开日 | 2024/3/5 |
| IPC主分类号 | G06T7/77 |
| 权利人 | 深圳互喜智联科技有限公司 |
| 发明人 | 李玉廷; 李恒飞; 曹雄新 |
| 地址 | 广东省深圳市南山区西丽街道曙光社区深圳市南山区创盛路1号康和盛大楼101 |
摘要文本
本发明涉及晶圆定位技术领域，具体涉及一种用于寻边器晶圆定位的视觉定位方法，通过获取晶圆图像的灰度图像，根据灰度图像各个边缘像素点的位置分布，确定灰度图像的噪声强度特征值；获取灰度图像的灰度游程矩阵，进而确定灰度图像的纹理信息密度参数；根据灰度图像中的晶圆槽口像素点和边缘像素点的位置分布，以及灰度图像的噪声强度特征值和纹理信息密度参数，确定搜索窗口尺寸；根据搜索窗口尺寸，对灰度图像进行非局部均值滤波，并根据滤波后的灰度图像进行晶圆定位。本发明通过自适应确定对晶圆图像的灰度图像进行非局部均值滤波过程中的搜索窗口尺寸，有效保证了滤波效果，从而提高了晶圆定位精度。
专利主权项内容
1.一种用于寻边器晶圆定位的视觉定位方法，其特征在于，包括以下步骤：获取晶圆图像的灰度图像，对所述灰度图像进行边缘检测，得到各个边缘像素点，并根据所述边缘像素点的位置分布，确定所述灰度图像的噪声强度特征值；获取所述灰度图像的灰度游程矩阵，并根据所述灰度游程矩阵中各个元素值的分布情况以及所述灰度图像的噪声强度特征值，确定所述灰度图像的纹理信息密度参数；确定所述灰度图像中的晶圆槽口像素点，根据所述晶圆槽口像素点和所述边缘像素点的位置分布，以及所述灰度图像的噪声强度特征值和纹理信息密度参数，确定对所述灰度图像进行非局部均值滤波过程中的搜索窗口尺寸；根据对所述灰度图像进行非局部均值滤波过程中的搜索窗口尺寸，对所述灰度图像进行非局部均值滤波，并根据滤波后的灰度图像进行晶圆定位。