阻抗匹配电路以及射频电源设备
申请人信息
- 申请人:深圳市瀚强科技股份有限公司
- 申请人地址:518055 广东省深圳市南山区桃源街道长源社区学苑大道1001号南山智园D1栋1101
- 发明人: 深圳市瀚强科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 阻抗匹配电路以及射频电源设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410211036.8 |
| 申请日 | 2024/2/27 |
| 公告号 | CN117792323A |
| 公开日 | 2024/3/29 |
| IPC主分类号 | H03H7/40 |
| 权利人 | 深圳市瀚强科技股份有限公司 |
| 发明人 | 王树晓; 林炯康; 陈亚梯 |
| 地址 | 广东省深圳市南山区桃源街道长源社区学苑大道1001号南山智园D1栋1101 |
摘要文本
本申请提供一种阻抗匹配电路以及射频电源设备，阻抗匹配电路具有与射频电源可选择地连接的检测节点，还包括阻抗匹配单元、电容值检测单元和电压值获取单元；阻抗匹配单元包括与检测节点连接的第一匹配电容；电容值检测单元包括检测电容模块和检测电源，检测电容模块的一端与检测电源连接，检测电容模块的另一端与检测节点可选择地连接；其中，阻抗匹配电路具有自检状态，在自检状态，检测节点与射频电源断开，检测电容模块与检测节点连接，检测电源输出检测电压，电压值获取单元获取检测节点的电压值，检测电容模块的电容值、检测电源的检测电压以及检测节点的电压值用于计算得到第一匹配电容的电容值。本申请可检测电容器件的电容值。
专利主权项内容
1.一种阻抗匹配电路，用于对射频电源与负载进行阻抗匹配，其特征在于，所述阻抗匹配电路具有检测节点，所述阻抗匹配电路还包括：阻抗匹配单元，至少包括第一匹配电容，所述第一匹配电容与所述检测节点连接；电容值检测单元，包括检测电容模块和检测电源，所述检测电容模块具有一电容值，所述检测电源包括用于输出一检测电压的输出端，所述检测电容模块的一端与所述检测电源的输出端连接，所述检测电容模块的另一端与所述检测节点可选择地连接；电压值获取单元，至少用于获取所述检测节点的电压值；其中，所述检测节点与所述射频电源可选择地连接；所述阻抗匹配电路具有自检状态，在所述自检状态，所述检测节点与所述射频电源断开，所述检测电容模块与所述检测节点连接，而形成包括所述检测电源、所述检测电容模块以及所述第一匹配电容的检测回路，所述检测电源输出检测电压，并通过所述检测电容模块传输至所述检测节点，所述电压值获取单元获取所述检测节点的电压值，其中，所述检测电容模块的电容值、所述检测电源的检测电压以及所述检测节点的电压值用于计算得到所述第一匹配电容的电容值。