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水平调节装置及晶圆检测系统
申请人信息
- 申请人:深圳市森美协尔科技有限公司
- 申请人地址:518103 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层
- 发明人: 深圳市森美协尔科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 水平调节装置及晶圆检测系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410143320.6 |
| 申请日 | 2024/2/1 |
| 公告号 | CN117672942A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 发明人 | 钟金成 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层 |
摘要文本
本申请涉及一种水平调节装置及晶圆检测系统，所述水平调节装置包括：底板、承载板以及调节组件，所述承载板设置于所述底板的一侧；所述调节组件分别连接所述承载板及所述底板，用于调节所述承载板与所述底板的相对位置，以使得所述承载板处于水平状态。所述水平调节装置可将所述承载板调整至水平状态。
专利主权项内容
1.一种水平调节装置，其特征在于，所述水平调节装置包括：底板；承载板，所述承载板设置于所述底板的一侧；以及调节组件，所述调节组件分别连接所述承载板及所述底板，用于调节所述承载板与所述底板的相对位置，以使得所述承载板处于水平状态。