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机械手组件及探针台
申请人信息
- 申请人:深圳市森美协尔科技有限公司
- 申请人地址:518103 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层
- 发明人: 深圳市森美协尔科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 机械手组件及探针台 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410146471.7 |
| 申请日 | 2024/2/2 |
| 公告号 | CN117690858A |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | H01L21/687 |
| 权利人 | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 发明人 | 周凯旋 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层 |
摘要文本
本申请提供一种机械手组件及探针台。机械手组件包括：第一机械手，第一机械手用于承载晶圆，第一机械手包括相对设置的第一手臂及第一底板，第一手臂承载于第一底板；第二机械手，第二机械手用于承载晶圆，第二机械手包括相对设置的第二手臂及第二底板，第二底板与第一底板相对设置，且第二底板固定连接于第一底板，第二手臂承载于第二底板邻近第一底板的一侧；及第一传动件，第一传动件设置于第二底板背离第一底板的一侧，第二底板及第一底板能够在第一传动件的带动下以第一机械手的中心轴为旋转中心且沿第一方向及第一方向的反方向旋转，中心轴沿第一底板及第二底板的排布方向延伸，使得机械手组件在探针台中能够保持平稳的运输状态。。 （更多数据，详见专利查询网）
专利主权项内容
1.一种机械手组件，其特征在于，所述机械手组件包括：第一机械手，所述第一机械手用于承载晶圆，所述第一机械手包括相对设置的第一手臂及第一底板，所述第一手臂承载于所述第一底板；第二机械手，所述第二机械手用于承载晶圆，所述第二机械手包括相对设置的第二手臂及第二底板，所述第二底板与所述第一底板相对设置，且所述第二底板固定连接于所述第一底板，所述第二手臂承载于所述第二底板邻近所述第一底板的一侧；及第一传动件，所述第一传动件设置于所述第二底板背离所述第一底板的一侧，所述第二底板及所述第一底板能够在所述第一传动件的带动下以所述第一机械手的中心轴为旋转中心且沿第一方向及第一方向的反方向旋转，所述第一方向垂直于所述第一底板及所述第二底板的排布方向，所述中心轴沿所述第一底板及所述第二底板的排布方向延伸。