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一种探针台及探针台的上下料方法

申请号: CN202410166689.9
申请人: 深圳市标谱半导体股份有限公司
更新日期: 2026-03-17

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种探针台及探针台的上下料方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202410166689.9
申请日 2024/2/6
公告号 CN117699432A
公开日 2024/3/15
IPC主分类号 B65G47/74
权利人 深圳市标谱半导体股份有限公司
发明人 段雄斌; 叶伟杰; 何选民
地址 广东省深圳市宝安区航城街道三围社区内环路同富裕工业园茶树A栋1层-3层、5-8层

摘要文本

本申请提供一种探针台及探针台的上下料方法。探针台包括机架、检测工作台、承载工作台、X轴驱动组件、Y轴驱动组件,X轴驱动组件用于驱动承载工作台沿X轴移动,Y轴驱动组件用于驱动承载工作台沿Y轴移动,探针台还包括:料盒升降组件,设置于机架上,用于将装有待检测物料的料盒运输至抓手组件的工作位置处;抓手组件,设置于承载工作台上,用于在X轴驱动组件和Y轴驱动组件的作用下抓取待检测物料;托手组件,设置于抓手组件上方,用于将待检测物料放置于承载工作台上。通过X轴驱动组件和Y轴驱动组件带动抓手组件抓取物料,并配合托手组件和料盒升降组件可以实现探针台上待检测物料的自动上下料,无需设置副机台,节省占地面积。

专利主权项内容

1.一种探针台,包括机架以及设置于所述机架上的检测工作台、承载工作台、X轴驱动组件、Y轴驱动组件,所述检测工作台固定设置于所述机架上,所述承载工作台设置于所述检测工作台的下方,所述X轴驱动组件用于驱动所述承载工作台沿X轴移动,所述Y轴驱动组件用于驱动所述承载工作台沿Y轴移动,其特征在于,所述探针台还包括料盒升降组件、抓手组件和托手组件;所述料盒升降组件,设置于所述机架上,所述料盒升降组件用于将装有待检测物料的料盒运输至所述抓手组件的工作位置处;所述抓手组件,设置于所述承载工作台上,用于在所述X轴驱动组件和所述Y轴驱动组件的作用下抓取待检测物料,并将待检测物料运输至所述托手组件的工作位置处;所述托手组件,设置于所述抓手组件上方,用于将待检测物料放置于所述承载工作台上。