机械臂组件及晶圆检测台

专利主权项内容

1.一种机械臂组件，其特征在于，所述机械臂组件包括：机械臂，所述机械臂具有多个通孔及真空通道，所述多个通孔间隔设置且分别与所述真空通道连通；多个吸盘，所述多个吸盘与所述多个通孔一一对应设置，所述吸盘包括相连的夹持部及吸嘴，所述夹持部穿设于所述通孔，所述吸嘴设置于所述机械臂的一侧，所述夹持部具有第一外周侧壁，所述夹持部具有第一通道及穿设孔，所述第一通道贯穿所述第一外周侧壁，所述穿设孔贯穿所述夹持部面向所述吸嘴的表面，所述吸嘴与所述穿设孔连通，所述穿设孔与所述第一通道连通；以及支撑件，所述支撑件卡设于所述夹持部的穿设孔，以将所述夹持部安装于所述机械臂；所述支撑件具有第二外周侧壁，所述支撑件具有第二通道及第三通道，所述第二通道贯穿所述第二外周侧壁，所述第三通道贯穿所述支撑件面向所述吸嘴的表面，所述吸嘴、所述第三通道、所述第二通道、所述第一通道及所述真空通道依次连通。