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晶圆翻转机构及探针台
申请人信息
- 申请人:深圳市森美协尔科技有限公司
- 申请人地址:518103 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层
- 发明人: 深圳市森美协尔科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 晶圆翻转机构及探针台 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410143317.4 |
| 申请日 | 2024/2/1 |
| 公告号 | CN117672953A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | H01L21/687 |
| 权利人 | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 发明人 | 周凯旋 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层 |
摘要文本
本申请提供一种晶圆翻转机构及探针台。晶圆翻转机构包括：翻转件，翻转件用于固定并翻转晶圆，翻转件具有相背的第一端侧及第二端侧；驱动件，驱动件邻近翻转件的第一端侧设置，驱动件连接于翻转件，并能够驱动翻转件沿第一方向及第一方向的反方向转动，第一方向垂直于第一端侧及第二端侧的排布方向；及辅助件，辅助件包括辅助环及支撑件，辅助环套设于翻转件的第二端侧并固定连接于翻转件，辅助环能够相对支撑件沿第一方向及第一方向的反方向转动，辅助环具有旋转轴，旋转轴穿设于翻转件，支撑件承载辅助环并对辅助环限位。辅助环的设置能够使得翻转件的转动过程更加平稳，从而有效地提升晶圆翻转机构的精准度与可靠性。 来源：百度搜索专利查询网
专利主权项内容
1.一种晶圆翻转机构，其特征在于，所述晶圆翻转机构包括：翻转件，所述翻转件用于固定并翻转晶圆，所述翻转件具有相背的第一端侧及第二端侧；驱动件，所述驱动件邻近所述翻转件的第一端侧设置，所述驱动件连接于所述翻转件，并能够驱动所述翻转件沿第一方向及第一方向的反方向转动，所述第一方向垂直于所述第一端侧及所述第二端侧的排布方向；及辅助件，所述辅助件包括辅助环及支撑件，所述辅助环套设于所述翻转件的第二端侧并固定连接于所述翻转件，所述辅助环能够相对所述支撑件沿所述第一方向及第一方向的反方向转动，所述辅助环具有旋转轴，所述旋转轴穿设于所述翻转件，所述支撑件承载所述辅助环并对所述辅助环限位。。更多数据：搜索马克数据网来源：