← 返回列表
角度调节装置及晶圆检测系统
申请人信息
- 申请人:深圳市森美协尔科技有限公司
- 申请人地址:518103 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层
- 发明人: 深圳市森美协尔科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 角度调节装置及晶圆检测系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410132005.3 |
| 申请日 | 2024/1/31 |
| 公告号 | CN117672941A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 发明人 | 刘世文 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层 |
摘要文本
本申请涉及一种角度调节装置及晶圆检测系统。角度调节装置包括：转轴、承载件、连接件、传动机构及安装座，承载件转动连接转轴且承载目标对象；连接件固定连接承载件并带动承载件绕转轴转动；传动机构包括第一传动组件及第二传动组件，第一传动组件活动连接所述连接件且沿第一方向与第二传动组件滑动连接；安装座用于安装传动机构，第二传动组件沿第二方向可滑动连接安装座，第一方向与第二方向相交，当第二传动组件沿第二方向滑动时，带动第一传动组件沿第二方向滑动并推动连接件带动承载件相对转轴转动，第一传动组件还相对第二传动组件沿第一方向朝向靠近或背离承载件的方向移动。角度调节装置的加工难度及装配工艺的要求较低。 来自马-克-数-据-官网
专利主权项内容
1.一种角度调节装置，其特征在于，所述角度调节装置包括：转轴；承载件，所述承载件转动连接所述转轴，用于承载目标对象；连接件，所述连接件的一端固定连接所述承载件，用于带动所述承载件绕所述转轴转动；传动机构，所述传动机构包括第一传动组件及第二传动组件，所述第一传动组件活动连接所述连接件远离所述承载件的一端，所述第一传动组件沿第一方向与所述第二传动组件滑动连接，所述第二传动组件沿第二方向可滑动，其中，第一方向与第二方向相交，第一方向为承载件、连接件及传动机构的排布方向；以及安装座，所述安装座用于安装所述传动机构，所述第二传动组件沿第二方向可滑动连接所述安装座，当所述第二传动组件沿所述第二方向滑动时，带动所述第一传动组件沿第二方向滑动并推动所述连接件带动所述承载件相对所述转轴转动，当所述第二传动组件沿第二方向滑动时，所述第一传动组件还相对所述第二传动组件沿第一方向朝向靠近或背离所述承载件的方向移动。