一种储存芯片生产设备的控制方法及系统
申请人信息
- 申请人:深圳市富温传感技术有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区凤塘大道福洪工业区讯源智创谷4栋4B1
- 发明人: 深圳市富温传感技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种储存芯片生产设备的控制方法及系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410100159.4 |
| 申请日 | 2024/1/24 |
| 公告号 | CN117608259A |
| 公开日 | 2024/2/27 |
| IPC主分类号 | G05B19/418 |
| 权利人 | 深圳市富温传感技术有限公司 |
| 发明人 | 彭庚林; 唐羽林; 李凤 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区凤塘大道福洪工业区讯源智创谷4栋4B1 |
摘要文本
本发明涉及半导体加工控制技术领域,特别是一种储存芯片生产设备的控制方法及系统。获取当前待加工产品三维模型图,将当前待加工产品三维模型图导入知识图谱中进行检索,得到对该待加工产品进行加工的最优加工方案;并在该最优加工方案中提取出生产设备在加工过程中的各项最优加工参数;基于各项最优加工参数控制生产设备对待加工产品进行加工生产,对生产设备的各项实时加工参数进行分析,得到生产设备的实时加工状态;若生产设备的实时加工状态为异常状态,则获取实时加工产品三维模型图,并对实时加工产品三维模型图进行分析,根据分析结果对生产设备进行相应调控处理,实现了智能化加工生产,提高设备的稳定性与产品良率。
专利主权项内容
1.一种储存芯片生产设备的控制方法,其特征在于,包括以下步骤:S102:获取目标加工产品所有可能存在的形态特征以及相应的特征三维模图,并基于运行日志信息与各特征三维模图分析得到对各形态特征的目标加工产品进行加工的最优加工方案;S104:构建知识图谱,并将对各形态特征的目标加工产品进行加工的最优加工方案以及将与各目标加工产品相应的特征三维模图导入所述知识图谱中;并定期更新所述知识图谱;S106:获取当前待加工产品三维模型图,将所述当前待加工产品三维模型图导入知识图谱中进行检索,得到对该待加工产品进行加工的最优加工方案;并在该最优加工方案中提取出生产设备在加工过程中的各项最优加工参数;S108:基于各项最优加工参数控制生产设备对待加工产品进行加工生产,在加工生产过程中,在预设加工时间节点获取生产设备的各项实时加工参数;对生产设备的各项实时加工参数进行分析,得到生产设备的实时加工状态;S110:若生产设备的实时加工状态为正常状态,则不对生产设备进行调控处理;若生产设备的实时加工状态为异常状态,则获取实时加工产品三维模型图,并对实时加工产品三维模型图进行分析,根据分析结果对生产设备进行相应调控处理。