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一种精细线路的动态蚀刻补偿方法
申请人信息
- 申请人:深圳市常丰激光刀模有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市龙华区大浪街道高峰社区羊龙新村22栋厂房1层-4层
- 发明人: 深圳市常丰激光刀模有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种精细线路的动态蚀刻补偿方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410202277.6 |
| 申请日 | 2024/2/23 |
| 公告号 | CN117790300A |
| 公开日 | 2024/3/29 |
| IPC主分类号 | H01L21/3213 |
| 权利人 | 深圳市常丰激光刀模有限公司 |
| 发明人 | 杨常青; 常利芳 |
| 地址 | 广东省深圳市龙华区大浪街道高峰社区羊龙新村22栋厂房1层-4层 |
摘要文本
本发明涉及线路动态蚀刻技术领域，尤其涉及一种精细线路的动态蚀刻补偿方法。所述方法包括以下步骤：对蚀刻样本进行三维结构扫描并进行拓扑结构特征提取并进行样本热效应分析，得到激光蚀刻热效应数据；对样本拓扑结构特征数据进行结构热损伤评估并进行蚀刻路径影响效应分析，得到蚀刻路径热损失效应数据；对蚀刻路径热损伤效应数据进行蚀刻路径热损伤等级计算，得到蚀刻路径热损伤等级值；当蚀刻路径热损伤等级值大于或等于预设的热损伤等级阈值时，则根据蚀刻路径热损伤效应数据进行动态蚀刻路径规划并进行最优路径设计并进行线路动态蚀刻补偿，得到线路动态蚀刻补偿数据。本发明通过对线路动态蚀刻补偿使得线路蚀刻更加精确。
专利主权项内容
数据由马 克 团 队整理 1.一种精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：利用三维激光扫描仪对蚀刻样本进行三维结构扫描，得到样本三维结构平滑模型；根据样本三维结构平滑模型进行拓扑结构特征提取，得到样本拓扑结构特征数据；步骤S2：对样本拓扑结构特征数据进行样本热效应分析，得到激光蚀刻热效应数据；基于激光蚀刻热效应数据对样本拓扑结构特征数据进行结构热损伤评估，得到结构热损伤数据；根据激光蚀刻热效应数据以及结构热损伤数据进行蚀刻路径影响效应分析，得到蚀刻路径热损失效应数据；步骤S3：对蚀刻路径热损伤效应数据进行蚀刻路径热损伤等级计算，得到蚀刻路径热损伤等级值；当蚀刻路径热损伤等级值大于或等于预设的热损伤等级阈值时，则根据蚀刻路径热损伤效应数据进行动态蚀刻路径规划，得到动态蚀刻路径规划数据；对动态蚀刻路径规划数据进行最优路径设计，得到动态蚀刻最优路径数据；步骤S4：基于动态蚀刻最优路径数据进行线路动态蚀刻补偿，得到线路动态蚀刻补偿数据。