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远程等离子发生器的散热调节方法及系统

申请号: CN202410026090.5
申请人: 江苏神州半导体科技有限公司
更新日期: 2026-03-20

专利详细信息

项目 内容
专利名称 远程等离子发生器的散热调节方法及系统
专利类型 发明授权
申请号 CN202410026090.5
申请日 2024/1/9
公告号 CN117545161B
公开日 2024/3/29
IPC主分类号 H05H1/24
权利人 江苏神州半导体科技有限公司
发明人 朱培文; 朱国俊
地址 江苏省扬州市邗江区蜀岗西路19号1

摘要文本

本发明公开了远程等离子发生器的散热调节方法及系统,应用于数据处理技术领域,该方法包括:通过读取远程等离子发生器的工作模式,在电离腔体外布设光纤温度传感器,并读取光纤温度传感器的时序读数。基于时序读数进行电离腔体的区域分割。在运行过程中获取实时运行参数和环境温度,进行区域散热能力集的控制匹配,生成第一控制匹配结果。以第一控制匹配结果对多源水冷管进行散热控制,进行电离腔体的分区温升监测,生成修正控制匹配结果,对第一控制匹配结果补偿,生成第二控制匹配结果。基于第二控制匹配结果进行散热调节管理。解决了现有技术中等离子发生器的散热调节智能化较低,存在能源消耗量大,调节精度低的技术问题。

专利主权项内容

1.远程等离子发生器的散热调节方法,其特征在于,所述方法包括:建立与远程等离子发生器的通信连接,并读取远程等离子发生器的工作模式;依据所述工作模式启动所述远程等离子发生器时,在电离腔体外布设光纤温度传感器,并读取光纤温度传感器的时序读数,其中,所述时序读数与所述工作模式具有映射关联,光纤温度传感器的所述时序读数为所述光纤温度传感器在时间序列上的读数;基于所述时序读数进行所述电离腔体的区域分割,并在区域分割结果内分布多源水冷管,并建立多源水冷管的区域散热能力集;在远程等离子发生器运行过程中,获取实时运行参数和环境温度;依据所述实时运行参数和环境温度进行区域散热能力集的控制匹配,生成第一控制匹配结果;以所述第一控制匹配结果对所述多源水冷管进行散热控制,并生成反馈空间;在所述反馈空间内进行电离腔体的分区温升监测,基于监测结果生成修正控制匹配结果;基于所述修正控制匹配结果对所述第一控制匹配结果补偿,生成第二控制匹配结果;基于所述第二控制匹配结果进行散热调节管理。