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掩模版承载机构及掩模版量测机台
申请人信息
- 申请人:无锡迪思微电子有限公司; 华润微电子控股有限公司
- 申请人地址:214135 江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6
- 发明人: 无锡迪思微电子有限公司; 华润微电子控股有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 掩模版承载机构及掩模版量测机台 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410225606.9 |
| 申请日 | 2024/2/28 |
| 公告号 | CN117826546A |
| 公开日 | 2024/4/5 |
| IPC主分类号 | G03F7/20 |
| 权利人 | 无锡迪思微电子有限公司; 华润微电子控股有限公司 |
| 发明人 | 毛汛 |
| 地址 | 江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6; 上海市静安区汶水路299弄11、12号第5层 |
摘要文本
本申请涉及一种掩模版承载机构及掩模版量测机台。掩模版承载机构包括：载台组件；支架组件，可活动地设于所述载台组件上；多个支撑件，间隔地设于所述支架组件远离所述载台组件的一侧；所述多个支撑件的中心连线围成一闭合图形；以及滑动件，可滑动地设于所述载台组件上，且与所述支架组件连接；其中，所述滑动件被配置为：所述滑动件相对所述载台组件移动，并带动所述支架组件活动，以调节所述闭合图形的形状。如此，该掩模版承载机构可以适用于不同尺寸的掩模版，在使用时不需要手动切换载台，有利于提升掩模版的量测效率。
专利主权项内容
1.一种掩模版承载机构，其特征在于，包括：载台组件；支架组件，可活动地设于所述载台组件上；多个支撑件，间隔地设于所述支架组件远离所述载台组件的一侧；所述多个支撑件的中心连线围成一闭合图形；以及滑动件，可滑动地设于所述载台组件上，且与所述支架组件连接；其中，所述滑动件被配置为：所述滑动件相对所述载台组件移动，并带动所述支架组件活动，以调节所述闭合图形的形状。